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1、规格:
-真空度:10-3torr
-卡盘:直径60mm
-尺寸:27mm(W)x180(D)x63(H)
-定位器:PB30
-Z轴上下旋钮:10um
2、可选:
-MFC气体控制器
-加热卡盘:300度
-冷卡盘:-180度
-显微镜(~300X),CCD变焦相机
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