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产品简介
通过MEMS芯片对样品施加热场控制，在原位样品台内构建热场自动控制及反馈测量系统，结合EDS、EBSD等多种不同模式，实现从纳米甚至原子层面实时、动态监测样品在真空环境下随温度变化产生的微观结构、相变、元素价态、微观应力以及表/界面处的原子级结构和成分演化等关键信息。
我们的优势
高分辨率和可靠性
1．MEMS微加工工艺，加热芯片视窗区域的氮化硅膜厚度最薄可达10 nm，可达到扫描电镜极限分辨率。
优异的热学性能
1．高精密红外测温校正，微米级高分辨热场测量及校准，确保温度的准确性。
2．超高频控温方式，排除导线和接触电阻的影响，测量温度和电学参数更精确。
3．采用高稳定性贵金属加热丝（非陶瓷材料），既是热导材料又是热敏材料，其电阻与温度有良好的线性关系，加热区覆盖整个观测区域，升温降温速度快，热场稳定且均匀，稳定状态下温度波动±1℃。
4．采用闭合回路高频动态控制和反馈环境温度的控温方式，高频反馈控制消除误差，控温精度±1 ℃。
5．多级复合加热MEMS芯片设计，控制加热过程热扩散，极大抑制升温过程的热漂移，确保实验的高效观察。
6．加热丝外部由氮化硅包覆，不与样品发生反应，确保实验的准确性。
技术参数
| 类别 | 项目 | 参数 |
| 基本参数 | 台体材质 | 高强度钛合金 |
| 分辨率 | 扫描电镜极限分辨率 | |
| 适用电镜 | ZEISS | |
| EDS/EBSD | 支持 |
应用案例
Synthetic scheme for thepreparation of ZIF-67 crystalsand GC
SEM images
ZIF-67 after heated
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 免费上门培训1次
免费仪器保养: 1年1次
保内维修承诺: 免费上门维修
报修承诺: 3个工作日内到达现场开始维修
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