高真空检漏仪采用高分辨显微镜平台，xy轴微运动集成，以及高分辨电子相机和显示屏，完全契合电镜使用，具有极高的直接压力分辨率和泄漏检测灵敏度，并具有强大的扩展输入和输出、多通道参数设置和选择、大容量记录和存储、通信处理、质量检测、数据传输的功能等等。检测灵敏度高，位置精确，操作便捷。
1) 整体尺寸：L*W*H=600*600*1250，柜台高805（单位：mm），以实物为准。
2) 压力范围：0-1000mbar。
3) 适用电镜样品台：FEI、JEOL、Hitachi（适配）
4) 适用原位反应舱芯片：自组装键合一体式芯片，加热芯片，纳流体芯片。
5) 极限真空小于等于1×10-6 mBar，原位样品台检漏操作真空度小于等于8×10-5 mBar。
6) 接口模块含控制阀门，以在电源关闭时保持真空状态，或在检漏完成，实现检漏模块气体通入，加速样品台取出过程。
7) 数字显微系统分辨率优于1微米，帧率大于等于30帧/秒。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 免费上门培训1次
免费仪器保养: 1年1次
保内维修承诺: 免费上门维修
报修承诺: 3个工作日内到达现场开始维修
