看了外延系统的用户又看了
真空固化的优势
•更快的流程:3.5小时vs 8个小时以上
•层流减少/消除了颗粒
•更彻底的固化(排气量减少5倍)
•减少膜应力,降低晶片翘曲
•功耗和N2消耗减少1.6到2倍
•大大降低了资本成本,降低了2-3倍的运营成本
PB8: 最多2个200mm晶圆盒
PB12: 最多2个300mm晶圆盒
硬件
洁净室相容性:10级
箱体清洁度:1级
晶圆尺寸:最大200mm
容量:每批最多可容纳50个8英寸晶圆(两个25个晶圆盒)
工作温度:环境温度450°C
氮气流量:1 SCFM
耗氮量:15-25升/分钟。
内腔尺寸:36.62厘米(内径)x 66.52厘米(深)—(14.42“ x 26.19”)
腔室处理面积:23.95厘米(宽)x45.97厘米(深)x24.69厘米(高)—(9.43“ x
18.10”x 9.72“)
系统整体尺寸:68.96厘米(宽)x145.92厘米(深)x 77.87厘米(高)—(27.15“
x 57.45”x 30.64“)
控制台尺寸:59.44厘米(宽)x 96.01厘米(深)x 23.62厘米(高)—(23.4“ x
37.8”x 9.3“)
箱体材质:316L不锈钢
工艺气体输入:1个标准,最多3个可选
质量流量控制器:可选–最多3个用于气体混合
层流过滤器:100微米Mott™板式过滤器
清洁度:减少大多数应用中的颗粒
软件
配方数:8种温度曲线
每个配方的步数:16个程序步
分段时间范围:0-99小时
定时器设定分辨率:1分钟
性能
温度均匀性:所有温度点稳定15分钟后,在保压期间保持±5°C
平均升温速度(150°C-450°C):5°C / min。 空箱负荷
平均冷却速度(450°C-150°C):4°C / min。 空箱负荷
氧气浓度:本底超过10 ppm
配件
电源要求:208V,40 A,50/60 Hz,3相
重量(约):575磅(261公斤)
产品货期: 15天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后3天内
电话支持响应时间: 1小时内
是否提供维保合同: 是
维修响应时间: 3天内
节假日是否提供上门服务: 是
是否支持上门巡检: 是
是否提供预防性维护计划: 是
是否提供期间核查方案: 是
是否提供免费应用支持: 是
是否提供付费应用支持: 是
是否提供线上售后平台: 是
维修付款方式: 先维修后付款
基本维修资料公开: 维修图纸;技术参数;专用工具;故障代码;维修手册
耶斯外延系统手动加载真空固化系统的工作原理介绍
外延系统手动加载真空固化系统的使用方法?
耶斯手动加载真空固化系统多少钱一台?
外延系统手动加载真空固化系统可以检测什么?
外延系统手动加载真空固化系统使用的注意事项?
耶斯手动加载真空固化系统的说明书有吗?
耶斯外延系统手动加载真空固化系统的操作规程有吗?
耶斯外延系统手动加载真空固化系统报价含票含运吗?
耶斯手动加载真空固化系统有现货吗?
最多添加5台