¥50万 - 100万
维易科
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Phoenix G2 ALD System
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美洲
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Veeco(之前称之为Cambridge Nanotech)已经有15年以上的ALD研发生产经验。2003年Cambridge Nanotech成立于哈佛大学，05年搬到Boston并生产出Thermal ALD - Savannah, 之后生产出Plasam ALD - Fuji、批量生产ALD-Phoenix。2017年被Veeco收购，并更新了Batch HVM ALD - Firebird。至今为止，Veeco在ALD设备已有15年多的经验，全球已安装五百多台ALD设备。
方式: Thermal batch ALD
优势: 大批量热ALD镀膜，可靠成熟，设计灵活，易于使用，并具有许多操作界面，许多内置安全功能
薄膜: 高达370 mm x 470 mm (Gen 2.5 Panels) / 100mm 晶片 - 240 to 360 / 150mm 晶片 - 80 to 160 / 200mm 晶片 - 80 to 100 / 300 mm 晶片 - up to 40 / 其它3D 对象自定义支架
设备尺寸: 900 mm x 1370 mm x 1700 mm
功率: 208 VAC 3 Phase, 8500 W (包含泵)
最强温度: 可达285°C
沉积均一性: Al2O3 晶片<1.5% / Al2O3批量<1%
前驱体源瓶: 3.1 l 源瓶或 600 ml
载气/排气: N2 or Ar MFC flow control
原位分析选项: 臭氧发生器, LVPD,集成手套箱, 半自动负载
自动负载, SECS/GEM 界面
维易科原子层沉积Phoenix G2 ALD System 的工作原理介绍
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