产地类别: 进口
衬底尺寸: 最大200mm(8英寸)
工艺温度: 最高温度350
前驱体数: 最多6路
重量: 125kg
尺寸(W x H x D): 585 x 560 x 980 mm
均匀性: 1%(Al2O3)
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用于沉积纳米级薄膜、纳米粉末包覆、长深孔样品镀膜;具有Thermal-ALD、PEALD、Particle-ALD和生产型ALD;具备近100种膜层工艺。
应用领域:
芯片封装、半导体High-k介电层、纳米涂层、3D涂层、锂电池、催化剂、太阳能电池、5G通讯(SAW器件)、生物医学仿生、荧光材料、OLED显示、有机材料、电子电路、光学膜等,细分及对应膜层如下:
-High-K介电材料(Al2O3,HfO2,ZrO2,PrAlO,Ta2O5,La2O3)
-导电门电极 (Ir, Pt, Ru, TiN)
-金属互联结构 (Cu WN,TaN,Ru,Ir)
-催化材料 (Pt,Ir,Fe,Co,TiO2,V2O5)
-纳米结构 (All ALD Material)
-生物医学涂层 (TiN,ZrN,TiAlN,AlTiN)
-金属 (Ru,Pd,Ir,Pt,Rh,Co,Cu,Fe,Ni)
-压电层 (ZnO,AlN,ZnS)
-透明电学导体 (ZnO:Al,ITO)
-紫外阻挡层 (ZnO,TiO2)
-光子晶体 (ZnO,ZnS:Mn,TiO2,Ta3N5)
-防反射滤光(Al2O3,ZnS,SnO2,Ta2O5)
-电致发光器件(SrS:Cu,ZnS:Mn,ZnS:Tb,SrS:Ce)
-工艺层如蚀刻栅栏、离子扩散栅栏等 (Al2O3,ZrO2)
-光学应用如太阳能电池、激光器、光学涂层、纳米光子等 (AlTiO,SnO2,ZnO)
-传感器 (SnO2,Ta2O5)
-磨损润滑剂、腐蚀阻挡层 (Al2O3,ZrO2,WS2)
-OLED钝化层 (Al2O3)
功能特点:
-采用热法和等离子法制备原子层纳米级薄膜
-一个循环周期小于2秒钟
-可以沉积有机高分子材料,实现表面亲疏水性
-可以在纳米粉末或纳米颗粒上沉积薄膜
-可以在三维、不规则体、带有长深孔(深宽比2500:1)样品上沉积薄膜
-可以沉积低饱和蒸汽压材料
-可增加在线椭偏仪和QCM检测
-可增加等离子体装置
-可扩展臭氧产生器
-可集成手套箱设备
-可增加Load-lock自动上下载片装置
可沉积膜层:
氧化物 | 氮化物 | 硫化物 | 金属/碲化物 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 仪器终身免费培训
免费仪器保养: 一年免费保养一次
保内维修承诺: 免费上门维修和技术指导,免费更换零配件
报修承诺: 1小时内响应,24-72小时到达客户现场(因区域而异)
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