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简介:
聚对二甲苯(Poly-p-xylene),商品名帕里纶(Parylene),是通过化学气相沉积法制备的具有聚二甲撑苯撑结构的聚合物薄膜的统称,它有极其优良的电性能、耐热性、耐候性和化学稳定性,主要有 Parylene N(聚对二甲苯)、Parylene C(聚一氯对二甲苯)和 Parylene D(聚二氯对二甲苯)三种。它是采用真空热解气相堆积工艺制备,可制成极薄的薄膜,主要用作薄膜和涂层,用于电子元器件的电绝缘介质、保护性涂料和包封材料等。
工作原理:
将该二聚体进行高温裂解产生双自由基,再导入成膜室在成膜物体表面冷凝并迅速聚合,得到均匀致密的聚对二甲苯薄膜。
聚对二甲苯薄膜涂层特点:
聚对二甲苯薄膜无色透明,膜厚0.1μm 时仍无针孔。它的化学性能稳定 ,有优良的机\电\热和生物相容性,对气体有良好的阻挡作用,还能提高被抱覆物的耐摸性,同时是一种能防潮\防霉\防酸碱\耐辐照的高品质防护涂层。聚对二甲苯薄膜涂层的优良特性,使其在许多高科技领域具有广阔的应用前景 。
Parylene涂层在电子领域应用极其广泛,主要用于:
电路板,半导体器件,集成电路,混合微电路, 混合微电路,电容器,微型电机和铁氧体;
在光学和光电领域主要用于光学光电器件,复印技术光电感光体,激光存储和记录器件;
在生物医学领域用于人工假体,埋入式器件,血液分析器等;
在航空航天领域主要用在航空航天器上,用于绝缘保护。
Diener P300聚对二甲苯涂沉系统技术参数:
涂层材料;聚对二甲苯 N,C,D
涂层厚度:0.05~100μm
加热炉:4kW/Max.850℃
沉积室:Dia.700*H720mm
Gas injection:homogenous dispersal system
Carrousel:Dia.600mm*H600mm
Pumping system:two-stage rotary vane suction power 65m3/h
Ultimate pressure:1*10-3mbar
Contral:Full PC based contral system on Windows-based
Compressed air:6bars oil free and dry
Exhaust:40mm tube
Dimensions:W2700*D2200*1600mm
Connections:3phase/400V/16A/50,60Hz
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目前有很多医疗器械都达到了微米甚至纳米级别,带来了十年前无法提供的种种优势。这些器械具有需小心保护的内部电子元件(植入式或外部)。由于这些电子元件体积微小,没有足够的重量进行沉降、喷涂或涂刷,因此无法采用常规的敷形保护涂层。一些微小的装置还会受到气隙、厚度不均以及很多涂层内在的其他因素的不良影响。对于植入式微电子元件来说,保护涂层还必须具有生物相容性。本文介绍聚对二甲苯敷形涂层如何为植入应用提供一种具有生物相容性的超薄涂覆选择,尤其是对那些需要保护电子元件的应用。
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