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喆图HMDS真空镀膜机VDM-125
用途概述
HMDS化学名叫六甲基二硅胺烷（别名六甲基二硅氮烷），HMDS真空镀膜机又称HMDS基片预处理系统，指需在低真空度下进行的镀膜。喆图HMDS真空镀膜机对箱体内预处理过程的工作温度、工作压力、处理时间、处理时保持时间等参数的控制，可以在硅片、衬底表面完成 HMDS成底膜的工艺。降低了光刻胶的用量，所有工艺都在密闭的环境中进行，完全没有HMDS挥发，提高了安全性。主要适用于硅片、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料，为基片在涂胶前改善表面活性，增加光刻胶与基底的粘附力的设备，也可用于晶片其它工艺的清洗，尤其在芯片研发和生产领域应用更加普及。
产品特点
①采用PLC工控自动化系统，人机界面采用触摸屏，具有可靠性高，操作智能方便；
②PLC微电脑PID控制系统具有自动控温、定时、超温报警等,彩色触摸屏显示,控温可靠；
③智能化触摸屏控制系统，可根据不同制程条件改变程序、温度、真空度及每一程序时间；
①采用钢化玻璃观察窗，监测方便，一体成型的硅橡胶门封，确保箱内密封性好；
②外壳和加热管均采用不锈钢材质，内胆不锈钢，无易燃易爆装置，无发尘材料；
③以蒸汽的形式涂布到晶片表面，液态涂布均匀，可一次处理4盒以上的晶片，节省药液；
①去水烘烤和增粘（疏水）处理一机完成无需转移，有效规避HMDS泄露的风险；
②HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，使真空箱密封性好，确保HMDS气体不外漏；
③多余的HMDS蒸汽（尾气）由真空泵抽出，排放到专用废气收集管道，确保安全以及环保。
技术参数
型号 | VDM-90 | VDM-125 | VDM-210 |
电源电压 | AC 220V 50Hz | ||
控制系统 | PLC控制 | ||
仪表控制 | 彩色触摸屏 | ||
控温范围 | RT+10-250℃ | ||
温度分辨率 | 0.1℃ | ||
温度波动度 | ±0.5 | ||
真空度 | ≤133pa | ||
内胆尺寸 | 450*450*450 | 500*550*500 | 550*550*650 |
容积 | 90L | 125L | 210L |
真空泵 | 选配 | 选配 | 选配 |
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 湖北菲利华石英玻璃股份有限公司 | 2024-06-18 |
| 金三江（肇庆）硅材料股份有限公司 | 2020-09-17 |
| 四川大学 | 2022-08-16 |
| 临沂瑞丰高分子材料有限公司 | 2021-06-16 |
| 金三江（肇庆）硅材料股份有限公司 | 2020-09-17 |
产品货期: 5天
整机质保期: 1年
培训服务: 额外提供免费培训；提供付费培训
安装调试时间: 到货后7天内
电话支持响应时间: 1小时内
是否提供维保合同: 是
维修响应时间: 1天内
节假日是否提供上门服务: 是
核心零部件货期: 3天
核心零部支持时间: 12月
是否支持上门巡检: 是
是否提供预防性维护计划: 是
是否提供期间核查方案: 是
是否提供免费应用支持: 是
是否提供付费应用支持: 是
是否提供线上售后平台: 是
维修付款方式: 先付款后维修
基本维修资料公开: 技术参数；故障代码
无理由退换货: 不支持
喆图镀膜机VDM-125的工作原理介绍
镀膜机VDM-125的使用方法?
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