GSL-1100X-SPC-12H加热型等离子薄膜溅射仪

产品简介：GSL-1100X-SPC-12H加热型等离子薄膜溅射仪专门为在基底上镀金属膜（如金、铂、铟、银等）而设计，最大放置样品尺寸直径为40mm，膜厚可达300?，特别适用于为SEM样品镀金而作为导电极。

主要特点

1、配有2L/s双旋片机械泵，出气口装有立式油雾过滤器，过滤真空泵工作时产生的油烟，减少泵的损耗，保护环境和人体健康。

 2、已经过CE认证。

技术参数

 1、输入电源：208V-240V  50Hz/60Hz   <3000W

 2、石英腔体：Φ100mm×130mm  

 3、样品台：Φ60mm，高度可调节，可加热到600℃

 4、温控器：30段可编程温度控制器，控温精度±1℃

 5、升温速率：15℃/min（推荐）

 6、靶材：纯度为4N的金靶，Φ57mm×0.12mm

 7、进气口：装有不锈钢针阀，可通入氩气，能实现更好的等离子涂层

产品规格

 GSL-1100X-SPC-12H加热型等离子薄膜溅射仪

尺寸：480mm×320mm×150mm；重量：20kg

标准配件

 1、金靶

 2、真空泵

 3、不锈钢波纹管

 4、快速卸装卡箍

可选配件 

  Au、Pt、Ag靶