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沈阳科晶
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GSL-1100X-SPC- 12
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中国大陆
产品简介：GSL-1100X-SPC-12等离子薄膜溅射仪专门为在基底上镀金属膜（如金、铂、铟、银等）而设计，最大放置样品尺寸直径为40mm，膜厚可达300?，特别适用于为SEM样品镀金而作为导电极。
产品型号 | GSL-1100X-SPC-12等离子薄膜溅射仪 |
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上）清洗，需自备氩气气瓶 4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5、通风装置：需要 |
主要特点 | 1、可以调节电流大小，可设置溅射时间。 2、已经过CE认证。 |
技术参数 | 1、输入电源：208V-240V 50Hz/60Hz 2、样品台：?60mm，高度可调节 3、石英腔体：?100mm×130mm 4、进气口：内部装有阀门，可以向腔体内通入各种气体 5、靶材：纯度为4N的金靶，?57mm×0.12mm |
产品规格 | 尺寸：480mm×320mm×150mm；重量：20kg |
可选配件 | 1、Au（?57mm×0.12mm，4N） 2、Pt（?57mm×0.12mm，4N） 3、Ag（?57mm×0.5mm，4N） |
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