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NANO-MASTER(那诺-马斯特)NOC-4000光学涂覆系统提供最先进的技术，系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用，同时具备各自的自动上/下载片功能。在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光，然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆，整个过程不间断真空。
产品应用：
光学涂层
溅射
IBAD离子束辅助沉积
离子束刻蚀清洗
离子束辅助反应刻蚀
红外涂层
表面处理
产品特点：
RF射频偏压样品台
膜厚监测仪
极限真空5x10-7Torr
高精度及高重复性
高品质膜层
原子级的洁净表面
原子级清洗和抛光
通过LabView软件实现PC计算机全自动控制
自动上下载片
两个腔体之间自动传送
菜单驱动，4级密码访问保护
完整的安全联锁
占地面积46”D x 44”W
选配项：
向下/向上溅射
共溅射
DC，RF以及脉冲电源
离子束辅助沉积
电子束源
等离子源
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