电子枪种类： 钨灯丝
二次电子图象分辨率： 15nm/5nm
放大倍数： 2 到 15万倍
加速电压： 1kV 到 30kV
背散射电子图像分辨率： 7nm@30kV
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性能规格
1) 加速电压 1kV到20kV (30kV可选）
2) 放大倍率 2倍到15万倍
3) 样品台移动: X,Y(40mm) / Rotation(360°)/ Tilt(0~45°)/ Z(5~30 mm)
4) 全自动聚焦，全自动消象散，全自动明亮度对比度调整
5) BSE探测器，SE探测器
6) Powerful S/W配置
7) AOI Measurement Tool配置
8) 尺寸: 360(W) X 440(D) X 530(H)
优势说明
1) 超高性能台式扫描电镜系统
2) AURA100：2-Stage Lens Optics of Free Beam Alignment
AURA200：3-Stage Lens Optics of Free Beam Alignment
3) 对于不导电样品1KV低压成像
3) 简单的电子束对中操作
4) 装备有Powerful Measuring tool & Analysis Software
5) 友好的操作界面以及简易的操作模式
离子溅射仪
型号：Cressington 108Auto 5万 - 10万
Cressington108C镀碳仪
型号：Cresstington 108C 5万 - 10万
Cressington离子溅射仪
型号：Cresstington 108Auto/208HR 10万 - 30万
分子泵超高真空镀碳仪
型号：Cressington 208C 30万 - 50万
日本电子 JEOL 钨灯丝扫描电子显微镜 JSM-IT210
Apreo 2超高分辨场发射扫描电镜
国仪量子场发射扫描电镜SEM5000Pro
TESCAN MIRA 场发射扫描电镜
屹东光学(Yidon Technologies)场发射扫描电子显微镜YF-1801
JEOL触摸屏控制热场发射扫描电子镜
南通宏腾微电子技术有限公司
钢研纳克钨灯丝扫描电镜SEM SE-800
纳克微束(北京)有限公司
NANOS分析型台式扫描电子显微镜
上海迈科英诺科学仪器有限公司
KYKY-EM8010场发射枪扫描电子显微镜
北京中科科仪股份有限公司
