仪器种类： 普通真空快速退火炉
产地类别： 进口
样品尺寸： 300mm X 300mm
温度范围： 1000dC
最高升温速率： 80K/S
降温速率： 30K/S
退火温度准确性： 1K
退火温度均匀性： 1%
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快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。
VPO-300是一款很有特点的快速退火炉，有非常大的退火空间，适合大尺寸样品的热处理。
仪器特点：
- 快速热处理、快速热退火 RTP / RTA；
- 可在真空、甚至于高真空环境使用；
- 加热区域尺寸：300毫米 X 300毫米；
- 广泛用于太阳能电池片快速退火工艺，如156mm X 156mm电池片，300mm X 300mm电池片等；
参考用户：
中科院上海技术物理所，中国电子科技集团41所；
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 中科院苏州纳米所 | 2013-12-01 |
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