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半导体&电子测试测量，投稿：kangpc@instrument.com.cn
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台积电周二表示，其董事会批准以10.432亿美元的价格从英特尔购买多电子束光掩模直写工具制造商IMS NanoManufacturing Global的8%股份。此举加强了IMS Nano的地位，因为这项投资将确保世界上最大的晶圆厂使用其工具。台积电的董事会也批准了向Arm投资100亿美元的计划。
IMS Nano专业从事多束掩模直写工具的开发和生产。这些工具比单电子束和光学直写设备快得多，这在当今很重要，因为当与极紫外（EUV）光刻机一起使用时，光掩模往往会磨损。与传统工具相比，它们允许以更快的修复速度生产光掩模。随着EUV光刻机的普及，IMS的工具变得越来越重要。
通过投资IMS Nano，台积电正在确保优先获得IMS的工具和技术。这可能会加强两家公司之间的合作关系，这可能会导致共同开发针对台积电特定需求的工具。
台积电业务发展高级副总裁Kevin Zhang博士表示：“台积电自2012年以来一直与IMS合作开发用于先进技术节点的多束掩模直写设备。这项投资延续了台积电和IMS之间的长期合作伙伴关系，以加速创新并实现更深入的跨行业合作。
[来源：仪器信息网译] 未经授权不得转载
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