天眼查显示,合肥芯碁微电子装备股份有限公司“一种用于直写式光刻机的安全防护系统及方法”专利公布,申请公布日为2024年8月9日,申请公布号为CN118466111A。
背景技术
运动平台一般会在机台腔体内部进行动作,设计人员对运动平台的安全防护意识比较薄弱,如有操作人员在门板打开的情况进行机台内部调试或者操作时不注意,运动平台容易对操作人员造成伤害;并且,如平台因某些杂物入侵导致平台运动出现问题,曝光时未能采取正确的曝光路径,会导致做板批量报废。
平台运动是根据上位机软件进行控制的,若控制模块出现问题或者平台碰到异物时,控制器可立即停止平台运动并把异常信息反馈给上位机,现有技术安全防护方案主要是集中在放板区配置安全光幕,当操作员的手指碰到安全光幕时电动门停止,平台也被上位机软件进行急停操作,在此种防护模式中有几种弊端:平台在安全防护时,更多的是对于驱动器自身问题的急停,如线缆损坏或者驱动器偶发报错,缺少了对于平台的主动急停以及平台急停后的一系列安全防护手段;在平台急停之后,若不登录上位机软件,操作人员不容易得到报警信息,同时延长了排查问题的时间;由于目前是通过软件进行急停以及其他一系列控制的,若发生通讯异常的情况,上位机无法急停平台,可能会导致发生一系列安全事故,需要一套PLC软件联动以及硬件防护的控制措施,来达到机台安全防护的最好效果。
发明内容
本发明公开了一种用于直写式光刻机的安全防护系统及方法,包括触发模块,该触发模块用于感应门板金属产生触发信号;控制模块,该控制模块与触发模块连接,所述触发模块用于接收触发信号并输出平台急停信号;以及平台急停模块,该平台急停模块与控制模块连接,所述平台急停模块用于接收平台急停信号,使运动平台所有的运动部件失去使能;该用于直写式光刻机的安全防护系统及方法,与PLC软件联动,达到机台安全防护的最好效果,解决了现有技术缺少了对于平台的主动急停以及平台急停后的一系列安全防护手段的问题及操作人员不容易得到报警信息,同时延长了排查问题时间的问题。
[来源:仪器信息网] 未经授权不得转载
2024.07.08
imec 使用 ASML 最新High NA EUV 光刻机取得突破性进展
2024.08.12
2024.08.06
2024.08.05
2024.08.02
2024.07.19
版权与免责声明:
① 凡本网注明"来源:仪器信息网"的所有作品,版权均属于仪器信息网,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用。已获本网授权的作品,应在授权范围内使用,并注明"来源:仪器信息网"。违者本网将追究相关法律责任。
② 本网凡注明"来源:xxx(非本网)"的作品,均转载自其它媒体,转载目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责,且不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如其他媒体、网站或个人从本网下载使用,必须保留本网注明的"稿件来源",并自负版权等法律责任。
③ 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起两周内与本网联系,否则视为默认仪器信息网有权转载。
谢谢您的赞赏,您的鼓励是我前进的动力~
打赏失败了~
评论成功+4积分
评论成功,积分获取达到限制
投票成功~
投票失败了~