半导体&电子测试测量,投稿:kangpc@instrument.com.cn
光刻胶是半导体产业重要的耗材,而有这样一家企业从事光刻胶研发多年,近日却因采购光刻机投入了人们的视野,登上了风口浪尖。
苏州晶瑞是一家微电子化学品及其它精细化工品生产商,公司的产品主要包括超净高纯试剂、光刻胶、功能性材料以及锂电池粘结剂等,可应用于半导体、光伏太阳能电池、LED等相关行业,具体应用到下游电子信息产品的清洗、光刻、制备等工艺环节。苏州晶瑞曾先后承担国家“863”、“02”等重大专项,为微电子材料国产化做出了重要贡献。
近日,苏州晶瑞发布公告称购得ASML XT 1900 Gi型光刻机一台,声称取得突破性进展,意义重大。目前设备于已运抵苏州并成功搬入公司高端光刻胶研发实验室。而此次购买旨在研发出更高端的ArF光刻胶,并最终实现应用于12英寸芯片制造的战略布局。甚至,相关媒体称这台光刻机将用于28nm光刻胶研发。
据了解,这是一台13年前的ASML的DUV光刻机,总价款为 1102.5 万美元(折合 7508 万人民币)。然而,小编在网上和ASML官网并未查找到该型号光刻机的信息。最近,有网友透露了这款光刻机的相关信息,让读者可以一窥这款光刻机的的前世今生。
据悉,这台光刻机是中国大陆最早一台浸没式光刻机,由当年无锡海力士采购。几年后,海力士发生大火,火扑灭之后,海力士无奈之下花了大价钱,去原厂维修之后就运回韩国,做其他产品去了。13年后,SK hynix淘汰旧设备,这台机器进入中国大陆公司视野。
光刻机一直是国内半导体产业采购的难点,特别是ASML的光刻机更是供不应求。面对这次来自不易的机会,去年9月底,晶瑞就发布公告说,准备向韩国芯片厂商SK海力士购买ASML光刻机。未来在对设备进行翻修后,这台光刻机将协助晶瑞进行光刻胶的研发。
不仅晶瑞股份在采购光刻机,南大光电、上海新阳等光刻胶研发企业都对ASML的光刻机情有独钟,也都各自采购了相应的光刻机。该网友进一步透露,2月份后,西安三星就有一批机况非常好的光刻机要拿出来卖,大约有3-4台,价格更便宜,性能更好,维修费更低。届时这些设备花落谁家,我们将持续关注。
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