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公司介绍
资质荣誉
诚聘英才
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核心参数
产地类别: 进口
请联系:张先生
Samco是日本半导体工艺设备制造商中获得博世工艺许可的公司。使用我们最新的Tornado ICP®专利技术和利用博世工艺,Samco的Si DRIE系统已被证明在研发和生产中的深层、垂直、高速Si深层蚀刻方面非常有效。
Samco Si DRIE系统的优势。
蚀刻速率超过50微米/分钟。
高选择性超过250:1(Si:光刻胶)。
均匀度为±5%或更高(4、6和8英寸晶圆)。
高长宽比(大于40:1)。
低扇形,光滑的侧壁轮廓(小于0.1μm扇形)。
双频SOI抗缺口蚀刻技术。
具有 "防倾斜 "功能,确保高均匀性。
静电夹头和氦气背面冷却(用于晶圆温度控制)
ICP源可以修改为SiO2的DRIE。
企业名称
上海瞻驰光电科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
919101165680073600
成立日期
2011-01-05
注册资本
人民币100.0000万元整
经营范围
从事光电科技领城内的技术开发、技术咨询、技术服务,品体材料,陶瓷材料,半导体材料,橡塑制品,化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品),光电设备及配件,半导体设备及配件,机械设备及配件销售,从事货物进出口及技术进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动]
公司地址
上海市长宁区延安西路 726号华敏翰尊22K
客服电话
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上海瞻驰科技有限公司
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公司名称: 上海瞻驰光电科技有限公司
公司地址: 上海市长宁区延安西路 726号华敏翰尊22K 联系人: 张先生 邮编: 200000
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