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Samco为研发和生产客户提供可靠和耐用的反应离子蚀刻(RIE)系统。 台式紧凑型 RIE 蚀刻机是学术设备研究和 IC 故障分析的裸片去处理的合适工具。开放式负载RIE系统和负载锁定RIE系统具有宽广的工艺窗口,适用于各种材料(硅、电介质、化合物半导体、金属、聚合物和光刻胶)的等离子蚀刻。盒式装载RIE系统可提高器件制造的工艺产量。
主要特点和优点
高选择性各向异性蚀刻满足苛刻的工艺要求。
对称的排空设计提高了蚀刻的均匀性。
全自动 "一键式 "操作,可完全手动操作。
计算机触摸屏为参数控制和存储提供了一个用户友好的界面。
自动压力控制,可精确控制工艺压力,不受气体流量影响。
干式泵和系统布局便于维护。
13.56 MHz射频发生器,具有自动匹配功能,提供卓越的工艺重复性。
Samco的CCP-RIE系统设计时尚、紧凑,只需要最小的洁净室空间。
反应离子蚀刻(RIE)是一种制造微观和纳米结构的等离子体蚀刻技术。在RIE蚀刻过程中,样品表面与低压等离子体产生的高能离子/自由基相互作用形成挥发性化合物。挥发性化合物从样品表面被去除,并实现了各向同性或各异性轮廓。通过优化干式蚀刻配方(腔体压力、射频功率、气体流量比),可以使用RIE蚀刻技术蚀刻各种类型的材料。
企业名称
上海瞻驰光电科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
919101165680073600
成立日期
2011-01-05
注册资本
人民币100.0000万元整
经营范围
从事光电科技领城内的技术开发、技术咨询、技术服务,品体材料,陶瓷材料,半导体材料,橡塑制品,化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品),光电设备及配件,半导体设备及配件,机械设备及配件销售,从事货物进出口及技术进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动]
上海瞻驰光电科技有限公司
公司地址
上海市长宁区延安西路 726号华敏翰尊22K
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