核心参数
仪器种类: 国产等离子清洗器
射频频率: 40kHz
功率: 5KW
样品腔容积: 250L
设备尺寸: 1100mm(L)×1100mm(W) ×1850 mm(H)
样品腔材质: 进口铝合金
工作气体: 2路
控制方式: 手动/自动
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NE-PE250C 是一款大型工业用真空等离子处理系统,设备配备大功率、大腔体、密度 大、高稳定性,适用于大规模连续生产。设备采用高性能真空泵快速产生超低的真空压 强。同时根据客户工艺要求,对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体,采用高品质 等离子发生器,使得通入的工艺气体产生等离子体,并确保稳定产生高密度,高能量的 离子。等离子体与材料发生 复杂的物理,化学反应,可 以实现不同的工艺功能,比 如清洗,活化,刻蚀与涂敷 等。等离子态显著的特点是 高均匀性辉光放电,根据不 同气体发出从蓝色到深紫 色的色彩可见光。
抽真空系统
抽真空系统包含真空泵、真空测量仪、真空管道等;
真空泵抽真空时间≤120S,真空度可达 30PA 以内;
工作真空度:10-50Pa,可自动进行压力控制;
破真空时间:15S 以内;
真空探测仪采用电阻式皮拉尼真空计,使用寿命长,探测精准;
真空管道采用航空铝合金材质稳定可靠。
等离子发生系统包含等离子电源、自动匹配器和反应腔室等。
等离子电源选用高频离子源,频率 40KHz,功率 0-5000W,稳定性好,运行准确,精 度高,能稳定提供等离子所需能量,保证等离子处理效果。
等离子发生腔体为航空铝合金腔体,其内部电极组合能通过改变电极板的位置来灵 活的改变工作区间的高度和等离子清洗的强度,来适应不同工件的清洗要求。
企业名称
深圳纳恩科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
440300209027367
成立日期
2019-12-20
注册资本
500
经营范围
一般经营项目是:投资兴办实业(具体项目另行申报);电子产品、家用电器、电视机、显示器、计算机及辅助设备、通讯及广播电视设备、计算机系统、教学及辅助仪器设备、安防监控器设备、室内外大屏显示设备、广告机、触摸互动产品、智能家居产品及其配件、物联网系统设备的研发与销售;计算机软件开发与销售;计算机软硬件的设计、技术咨询与技术服务;企业管理咨询(不含人才中介服务);市场营销咨询;模具设计;经营电子商务(涉及前置性行政许可的,须取得前置性行政许可文件后方可经营);国内贸易,货物及技术进出口。(法律、行政法规、国务院决定规定在登记前须经批准的项目除外);半导体器件专用设备销售;半导体器件专用设备制造;环境保护专用设备销售;环境保护专用设备制造;电子专用设备销售;电子专用设备制造;泵及真空设备制造;泵及真空设备销售;软件销售;工业自动控制系统装置销售;工业自动控制系统装置制造;除尘技术装备制造;电子测量仪器销售;电子测量仪器制造;仪器仪表制造;仪器仪表销售;电子元器件零售;电子元器件制造;五金产品零售;五金产品制造;照相器材及望远镜零售;电工机械专用设备制造;电子元器件与机电组件设备制造;电子元器件与机电组件设备销售;其他通用仪器制造;教学专用仪器制造;教学专用仪器销售;机械设备租赁;工业设计服务;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;机械设备销售;电气设备销售。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动),许可经营项目是:电子产品、家用电器、电视机、显示器、计算机及辅助设备、通讯及广播电视设备、计算机系统、教学及辅助仪器设备、安防监控器设备、室内外大屏显示设备、广告机、触摸互动产品、智能家居产品及其配件、物联网系统设备的生产。