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NE-PE10真空等离子表面处理设备

品牌: 纳恩科技
产地: 广东
型号: NE-PE10纳恩科技
报价: 面议
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核心参数

产地类别: 国产

产品介绍

其它参数

功率:0-300W可调
容积:10L
频率:13.56MHZ
处理层数:2层
整机功率:1000W



NE-PE10

2、 设备简介

NE-PE10是一款小型真空等离子处理系统,广泛应用于科研院校,企业研发单位和小批量生产打样。设备采用进口品牌高性能旋片真空泵快速产生一个小于1-2 Pa的真空压强,同时根据客户工艺要求,对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体,采用进口高品质等离子发生器,使得通入的工艺气体产生等离子体,并确保稳定产生高密度,高能量的离子等离子体与材料发生复杂的物理,化学反应,可以实现不同的工艺功能,比如清洗,活化,刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电,根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光


1.jpg

NE-PE10 系统功能特点:


•耐用的高品质不锈钢结构和固定装置

•不锈钢托盘设计,双层处理空间

•8K镜面不锈钢腔体,卓越密封性

•数字高频等离子发生器,产生高密度等高子体,确保出众的清洗效果

•PLC+触摸屏控制,过程参数实时监控

•方便定期校准设备连接验证过程中使用的要求

•支持各种工艺气体,包括氩气,氧,氢,氦和氟化气体

•通过联锁门或可移动的板

•两个标准的浮子针阀流量控制器,最佳气体控制

•性能卓越的双极旋片泵,高抽速,寿命长,耐腐蚀





4、 设备技术参数

序号

项目

型号规格

参数

1



等离子体发生



功率

0-300W可调

抗辐射干扰高频匹配器

自动阻抗匹配

频率

40 KHz

2







真空反应腔室







腔体材质

进口 316 不锈钢,军工级密封

腔体容积

10L

腔体尺寸

200(L)*200(W)*270(D)mm

电极数量


2个镀金铝合金专用电极+ 2个铝合金托盘

托盘尺寸

W*D :180(W)×220(D)mm

处理层数

2层

绝缘陶瓷

进口高频陶瓷

3


气路控制


气体流量控制器

浮子针阀流量控制器, 0-500ML

气路数量

最小2路气体,支持氧气,氩气,氮气,氢气,四氟化碳等

4

真空测量

真空计

SMC 真空计

5



抽气系统



真空泵

飞越 16M3/H

极限真空度

0.1PA

真空管路

不锈钢管路+气动阀门

6



控制系统



触摸屏

4.3

PLC

松下PLC模块

软件程序

自主专利设计等离子控制系统

7





场务条件





电源供应

220V

气管接口

直径8mm

气体纯度

99.99%

气体压力

0.3-0.6Mpa

排气口

KF25

8



整机参数



整机功率

1000W

外形尺寸

460(L)*460(W)*650(H)mm

(不含三色灯高度)

重量

60kg




售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 乙方负责对甲方人员进行技术、操作和设备的维护保养培训,但甲方必须指定专人学习与操
免费仪器保养: 终生不收维修费,只收取基本材料费及运费
保内维修承诺: 终生不收维修费,只收取基本材料费及运费
报修承诺: 接受服务请求后1小时内做出反应,2小时内提出处理意见和解决方案。
工商信息

企业名称

深圳纳恩科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

440300209027367

成立日期

2019-12-20

注册资本

500

经营范围

一般经营项目是:投资兴办实业(具体项目另行申报);电子产品、家用电器、电视机、显示器、计算机及辅助设备、通讯及广播电视设备、计算机系统、教学及辅助仪器设备、安防监控器设备、室内外大屏显示设备、广告机、触摸互动产品、智能家居产品及其配件、物联网系统设备的研发与销售;计算机软件开发与销售;计算机软硬件的设计、技术咨询与技术服务;企业管理咨询(不含人才中介服务);市场营销咨询;模具设计;经营电子商务(涉及前置性行政许可的,须取得前置性行政许可文件后方可经营);国内贸易,货物及技术进出口。(法律、行政法规、国务院决定规定在登记前须经批准的项目除外);半导体器件专用设备销售;半导体器件专用设备制造;环境保护专用设备销售;环境保护专用设备制造;电子专用设备销售;电子专用设备制造;泵及真空设备制造;泵及真空设备销售;软件销售;工业自动控制系统装置销售;工业自动控制系统装置制造;除尘技术装备制造;电子测量仪器销售;电子测量仪器制造;仪器仪表制造;仪器仪表销售;电子元器件零售;电子元器件制造;五金产品零售;五金产品制造;照相器材及望远镜零售;电工机械专用设备制造;电子元器件与机电组件设备制造;电子元器件与机电组件设备销售;其他通用仪器制造;教学专用仪器制造;教学专用仪器销售;机械设备租赁;工业设计服务;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;机械设备销售;电气设备销售。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动),许可经营项目是:电子产品、家用电器、电视机、显示器、计算机及辅助设备、通讯及广播电视设备、计算机系统、教学及辅助仪器设备、安防监控器设备、室内外大屏显示设备、广告机、触摸互动产品、智能家居产品及其配件、物联网系统设备的生产。

深圳纳恩科技有限公司为您提供NE-PE10真空等离子表面处理设备NE-PE10纳恩科技,纳恩科技NE-PE10纳恩科技产地为广东,属于国产干法清洗设备,除了NE-PE10真空等离子表面处理设备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多干法清洗设备,纳恩科技客服电话,售前、售后均可联系。
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