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核心参数
仪器种类： 国产等离子清洗器
射频频率： 40kHz/13.56MHz/2.54GHz
功率： 1000
样品腔容积： 2L
设备尺寸： 600mm(L)×450mm(W) ×450 mm(H)
样品腔材质： 不锈钢
工作气体： 2路
控制方式： 手动/自动
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一、设备简介
NE-PE02是一款小型真空等离子处理系统，广泛应用于科研院校，企业研发单位和小批量生产打样。设备采用进口品牌高性能旋片真空泵快速产生一个小于1-2 Pa的真空压强，同时根据客户工艺要求，对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体，采用进口高品质等离子发生器，使得通入的工艺气体产生等离子体，并确保稳定产生高密度，高能量的离子。等离子体与材料发生复杂的物理，化学反应，可以实现不同的工艺功能，比如清洗，活化，刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光。
NE-PE02 系统功能特点：
•耐用的高品质不锈钢结构和固定装置
•不锈钢托盘设计，可调节托盘间距
•8K镜面不锈钢腔体，卓越密封性
·数字高频等离子发生器，产生高密度等高子体，确保出众的清洗效果；
•直观的触摸屏，过程参数实时监控。
•方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求
•支持各种工艺气体，包括氩气，氧，氢，氦和氟化气体
•通过联锁门或可移动的板
•两个标准的浮子针阀流量控制器，最佳气体控制
设备参数
序号 | 项目 | 型号规格 | 参数 |
1 | 等离子体发生器 | 功率 | 0-300W可调 |
抗辐射干扰高频匹配器 | 自动阻抗匹配 | ||
频率 | 40 KHz | ||
2 | 真空反应腔室 | 腔体材质 | 进口 316 不锈钢，军工级密封 |
腔体容积 | 2L | ||
电极数量 | 1 个镀金铝合金专用电极 + 1个不锈钢托盘 | ||
腔体直径（圆形） | 100（W）×270（D）mm | ||
有效处理范围 | 80（W）*235(D)mm | ||
绝缘陶瓷 | 进口高频陶瓷 | ||
3 | 气路控制 | 气体流量控制器 | 浮子针阀流量控制器， 0-500ML |
气路数量 | 最小2路气体，支持氧气，氩气，氮气，氨气，氢气，四氟化碳等 | ||
4 | 真空测量 | 真空计 | SMC 真空计 |
5 | 抽气系统 | 真空泵 | 飞越 8 M3/H |
极限真空度 | 0.1PA | ||
真空管路 | 不锈钢管路+气动阀门 | ||
6 | 控制系统 | 触摸屏 | 4.3寸 |
PLC | 松下PLC模块 | ||
软件程序 | 自主专利设计等离子控制系统 | ||
7 | 场务条件 | 电源供应 | 220V |
气管接口 | 直径8mm | ||
气体纯度 | 99.99% | ||
气体压力 | 0.3-0.6Mpa | ||
排气口 | KF25 | ||
8 | 整机参数 | 整机功率 | 1000W |
外形尺寸 | 长*宽*高 ： 600mm(L)×450mm(W) ×450 mm(H) | ||
重量 | 40kg |
企业名称
深圳纳恩科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
440300209027367
成立日期
2019-12-20
注册资本
500
经营范围
一般经营项目是:投资兴办实业(具体项目另行申报);电子产品、家用电器、电视机、显示器、计算机及辅助设备、通讯及广播电视设备、计算机系统、教学及辅助仪器设备、安防监控器设备、室内外大屏显示设备、广告机、触摸互动产品、智能家居产品及其配件、物联网系统设备的研发与销售;计算机软件开发与销售;计算机软硬件的设计、技术咨询与技术服务;企业管理咨询(不含人才中介服务);市场营销咨询;模具设计;经营电子商务(涉及前置性行政许可的,须取得前置性行政许可文件后方可经营);国内贸易,货物及技术进出口。(法律、行政法规、国务院决定规定在登记前须经批准的项目除外);半导体器件专用设备销售;半导体器件专用设备制造;环境保护专用设备销售;环境保护专用设备制造;电子专用设备销售;电子专用设备制造;泵及真空设备制造;泵及真空设备销售;软件销售;工业自动控制系统装置销售;工业自动控制系统装置制造;除尘技术装备制造;电子测量仪器销售;电子测量仪器制造;仪器仪表制造;仪器仪表销售;电子元器件零售;电子元器件制造;五金产品零售;五金产品制造;照相器材及望远镜零售;电工机械专用设备制造;电子元器件与机电组件设备制造;电子元器件与机电组件设备销售;其他通用仪器制造;教学专用仪器制造;教学专用仪器销售;机械设备租赁;工业设计服务;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;机械设备销售;电气设备销售。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动),许可经营项目是:电子产品、家用电器、电视机、显示器、计算机及辅助设备、通讯及广播电视设备、计算机系统、教学及辅助仪器设备、安防监控器设备、室内外大屏显示设备、广告机、触摸互动产品、智能家居产品及其配件、物联网系统设备的生产。
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