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核心参数
仪器种类： 国产等离子清洗器
射频频率： 13.56MHz
功率： 4000W
样品腔容积： 80L
设备尺寸： L1200×W1100×H1850（mm）
样品腔材质： 不锈钢
工作气体： 3路
控制方式： 手动/自动
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设备主要技术参数
1) 外形尺寸（约）:L1200×W1100×H1850（mm） 外观喷塑处理
2) 反应仓尺寸：不锈钢 W450mm×H400mm×D470mm
3) 电源：主系统电源: 380×(1±10%)V(AC) 50Hz～60Hz 三相五线
4）等离子体频率：13.56MHz
5）射频电源功率：（0～600）W 可调
6）设备功率：≤4kW
7)控制方式：采用包括触摸屏人机界面的 PLC 控制，操作方式包括自动模式和手动模式。在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理， 可同时存储 100 组不同的配方。使用时只需要将相应配方号调出即可。设备参数分级管理，设备操作员、工艺人员、维护人员使用不同口令管理不同参数，提高设备安全性。手动模式用于实验工艺以及设备维护维修。
8)MFC 质量流量控制
气体流量：(0～200)ml/min （标况下）
9)工作气体(氧、氩等)接口压力：≤0.45MPa
10）压缩空气（启动气动角阀）接口压力：0.5Mpa
11）净化冷却气体（氮气）接口压力：0.45MPa
12）设备工作节拍：单次清洗时间≤8min（清洗时间 6min，具体以实际清洗时间为准）
13）工作真空度：30～150Pa
14）反应仓工作温度：30~60℃
15)极板数量：水平电极板≥8 层，极板间任意组合
企业名称
深圳纳恩科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
440300209027367
成立日期
2019-12-20
注册资本
500
经营范围
一般经营项目是:投资兴办实业(具体项目另行申报);电子产品、家用电器、电视机、显示器、计算机及辅助设备、通讯及广播电视设备、计算机系统、教学及辅助仪器设备、安防监控器设备、室内外大屏显示设备、广告机、触摸互动产品、智能家居产品及其配件、物联网系统设备的研发与销售;计算机软件开发与销售;计算机软硬件的设计、技术咨询与技术服务;企业管理咨询(不含人才中介服务);市场营销咨询;模具设计;经营电子商务(涉及前置性行政许可的,须取得前置性行政许可文件后方可经营);国内贸易,货物及技术进出口。(法律、行政法规、国务院决定规定在登记前须经批准的项目除外);半导体器件专用设备销售;半导体器件专用设备制造;环境保护专用设备销售;环境保护专用设备制造;电子专用设备销售;电子专用设备制造;泵及真空设备制造;泵及真空设备销售;软件销售;工业自动控制系统装置销售;工业自动控制系统装置制造;除尘技术装备制造;电子测量仪器销售;电子测量仪器制造;仪器仪表制造;仪器仪表销售;电子元器件零售;电子元器件制造;五金产品零售;五金产品制造;照相器材及望远镜零售;电工机械专用设备制造;电子元器件与机电组件设备制造;电子元器件与机电组件设备销售;其他通用仪器制造;教学专用仪器制造;教学专用仪器销售;机械设备租赁;工业设计服务;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;机械设备销售;电气设备销售。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动),许可经营项目是:电子产品、家用电器、电视机、显示器、计算机及辅助设备、通讯及广播电视设备、计算机系统、教学及辅助仪器设备、安防监控器设备、室内外大屏显示设备、广告机、触摸互动产品、智能家居产品及其配件、物联网系统设备的生产。
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