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粉丝量 0
核心参数
产地类别： 国产
腔体容积： 66
外部尺寸（L*W*D）： W903×D963×H1700（mm）
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其它参数
NE-PE60F VACUUM PLASMA TREATMENT SYSTEM
工业型真空等离子清洗机
设备备简介
NE-PE60F是一款大型工业用真空等离子处理系统，设备配备大功率、大腔体、密度大、高稳定性，适用于大规模连续生产。设备采用进口品牌高性能真空泵快速产生超低的真空压强。同时根据客户工艺要求，对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体，采用进口高品质等离子发生器，使得通入的工艺气体产生等离子体，并确保稳定产生高密度，高能量的离子。等离子体与材料发生复杂的物理，化学反应，可以实现不同的工艺功能，比如清洗，活化，刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光。
设备原理示意图：如上
NE-PE60F 系统功能特点：
•耐用的高品质不锈钢结构和固定装置
•不锈钢托盘设计，可调节托盘间距
•8K镜面不锈钢腔体，卓越密封性
•13.56射频等离子发生器，产生高密度等高子体，确保出众的清洗效果；
•直观的触摸屏，过程参数实时监控。
•方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求
•支持各种工艺气体，包括氩气，氧，氢，氦和氟化气体
•通过联锁门或可移动的板
•高精度气体流量监测系统，两路工艺气体配置(氩气、氧气），双路气流控制，比例
可调，采用高精度电子质量流量计(MFC)、针阀、美国世维洛克气体管路
设备技术参数
序号 | 项目 | 型号规格 | 参数 |
1 | 等离子体发生器 | 功率 | 0-500W可调 |
抗辐射干扰高频匹配器 | 自动阻抗匹配 | ||
频率 | 13.56 MHz | ||
2 | 真空反应腔室 | 腔体材质 | 进口 316 镜面不锈钢，军工级密封 |
腔体容积 | 370(W)*450(D)*400(H)mm; 60L | ||
单层有效处理面积 | W370mm x D370mm | ||
电极板数量 | 6层（可定制） | ||
真空测定系统 | （睿宝电阻真空硅管） 皮拉尼高精密电阻式真空计 | ||
绝缘陶瓷 | 进口高频陶瓷 | ||
3 | 放电电极 | 电极 | 高导电铝合金专用电极 |
电极间距 | 可调整电极之间的距离，调整等离子体强度和密度，极大提升处理能力和效率 | ||
4 | 气路控制 | 气体流量控制器 | MFC 气体质量流量计精确控制流量 0-500ml/min |
气路设计 | 腔体均匀进气气路设计，保证清洗均匀性 | ||
气路数量 | 配置2路工艺气路，可支持氧气，氩气，氮气，氢气，四氟化碳等 | ||
5 | 真空测量 | 真空测定系统 | 皮拉尼真空硅管 测量范围：1.0×10 5 ～1×10 -1 Pa |
6 | 抽气系统 | 真空泵 | 油泵/无油干泵（选配） |
工作真空度 | 30PA以内 | ||
抽真空时间 | 60s以内 | ||
破真空时间 | ≤15s | ||
真空管路 | 不锈钢管路+气动阀门 | ||
7 | 控制系统 | PLC | 三菱PLC模块 |
触摸屏 | 7寸 | ||
软件程序 | 自主专利设计等离子控制系统 | ||
8 | 场务条件 | 电源供应 | AC380V,50/60Hz，三相五线100A |
气管接口 | 直径8mm | ||
气体纯度 | 99.99% | ||
压缩空气要求 | 0.6~0.8MPa | ||
输入气压检测系统 | 2路自动报警气压表 | ||
排气口 | KF25 | ||
9 | 整机参数 | 整机功率 | 4.5KW |
外形尺寸 | 900mm(L)×960mm(W) ×1750 mm(H) | ||
重量 | 400kg |
企业名称
深圳纳恩科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
440300209027367
成立日期
2019-12-20
注册资本
500
经营范围
一般经营项目是:投资兴办实业(具体项目另行申报);电子产品、家用电器、电视机、显示器、计算机及辅助设备、通讯及广播电视设备、计算机系统、教学及辅助仪器设备、安防监控器设备、室内外大屏显示设备、广告机、触摸互动产品、智能家居产品及其配件、物联网系统设备的研发与销售;计算机软件开发与销售;计算机软硬件的设计、技术咨询与技术服务;企业管理咨询(不含人才中介服务);市场营销咨询;模具设计;经营电子商务(涉及前置性行政许可的,须取得前置性行政许可文件后方可经营);国内贸易,货物及技术进出口。(法律、行政法规、国务院决定规定在登记前须经批准的项目除外);半导体器件专用设备销售;半导体器件专用设备制造;环境保护专用设备销售;环境保护专用设备制造;电子专用设备销售;电子专用设备制造;泵及真空设备制造;泵及真空设备销售;软件销售;工业自动控制系统装置销售;工业自动控制系统装置制造;除尘技术装备制造;电子测量仪器销售;电子测量仪器制造;仪器仪表制造;仪器仪表销售;电子元器件零售;电子元器件制造;五金产品零售;五金产品制造;照相器材及望远镜零售;电工机械专用设备制造;电子元器件与机电组件设备制造;电子元器件与机电组件设备销售;其他通用仪器制造;教学专用仪器制造;教学专用仪器销售;机械设备租赁;工业设计服务;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;机械设备销售;电气设备销售。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动),许可经营项目是:电子产品、家用电器、电视机、显示器、计算机及辅助设备、通讯及广播电视设备、计算机系统、教学及辅助仪器设备、安防监控器设备、室内外大屏显示设备、广告机、触摸互动产品、智能家居产品及其配件、物联网系统设备的生产。
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