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核心参数
产地类别: 国产
清洗液类型: 无清洗液
外部尺寸(L*W*D): 600mm(L)×550mm(W) ×580 mm(H)
加热功率: 无加热
清洗温度: 30
腔体容积: 13L
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一、设备介绍
NE-PE13F是一款小型真空等离子处理系统,广泛应用于科研院校,企业研发单位和小批量生产打样。设备采用进口品牌高性能旋片真空泵快速产生一个小于1-2 Pa的真空压强,同时根据客户工艺要求,对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体,采用进口高品质等离子发生器,使得通入的工艺气体产生等离子体,并确保稳定产生高密度,高能量的离子。等离子体与材料发生复杂的物理,化学反应,可以实现不同的工艺功能,比如清洗,活化,刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电,根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光。
NE-PE13F 系统功能特点:
•耐用的高品质不锈钢结构和固定装置
•不锈钢托盘设计,可调节托盘间距
•8K镜面不锈钢腔体,卓越密封性
•13.56射频等离子发生器,产生高密度等高子体,确保出众的清洗效果;
•直观的触摸屏,过程参数实时监控。
•方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求
•支持各种工艺气体,包括氩气,氧,氢,氦和氟化气体
•通过联锁门或可移动的板
•两个标准的浮子针阀流量控制器,最佳气体控制
二、设备参数
序号
项目
型号规格
参数
1
等离子体发生器
功率
0-300W可调
抗辐射干扰高频匹配器
自动阻抗匹配
频率
13.56 MHz
2
真空反应腔室
腔体材质
进口 316 镜面不锈钢,军工级密封
腔体容积
240(W)*280(D)*200(H)mm; 13.5L
腔体有效处理面积
205(W)×205(D)mm
绝缘陶瓷
进口高频陶瓷
3
放电电极
电极
高导电铝合金专用电极
放电形式
CCP & RIE 离子反应放电模式
电极间距
可调整电极之间的距离,调整等离子体强度和密度,极大提升处理能力和效率
4
气路控制
气体流量控制器
浮子针阀流量控制器, 0-1000ML
气路设计
腔体双侧均匀进气气路设计,保证清洗,刻蚀均匀性
气路数量
配置2路工艺气路,可支持氧气,氩气,氮气,氢气,四氟化碳,NH3,CCL4等
5
真空测量
真空计
日本 SMC
6
抽气系统
真空泵
飞越 16m3/H,加装油雾过滤器
极限真空度
0.1PA
真空管路
不锈钢管路+气动阀门
7
控制系统
PLC
松下PLC模块
触摸屏
4.3寸
软件程序
自主专利设计等离子控制系统
8
场务条件
电源供应
220V
气管接口
直径8mm
气体纯度
99.99%
气体压力
0.3-0.6Mpa
排气口
KF25
9
整机参数
整机功率
1000W
外形尺寸
600mm(L)×550mm(W) ×580 mm(H)
重量
80kg
企业名称
深圳纳恩科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
440300209027367
成立日期
2019-12-20
注册资本
500
经营范围
一般经营项目是:投资兴办实业(具体项目另行申报);电子产品、家用电器、电视机、显示器、计算机及辅助设备、通讯及广播电视设备、计算机系统、教学及辅助仪器设备、安防监控器设备、室内外大屏显示设备、广告机、触摸互动产品、智能家居产品及其配件、物联网系统设备的研发与销售;计算机软件开发与销售;计算机软硬件的设计、技术咨询与技术服务;企业管理咨询(不含人才中介服务);市场营销咨询;模具设计;经营电子商务(涉及前置性行政许可的,须取得前置性行政许可文件后方可经营);国内贸易,货物及技术进出口。(法律、行政法规、国务院决定规定在登记前须经批准的项目除外);半导体器件专用设备销售;半导体器件专用设备制造;环境保护专用设备销售;环境保护专用设备制造;电子专用设备销售;电子专用设备制造;泵及真空设备制造;泵及真空设备销售;软件销售;工业自动控制系统装置销售;工业自动控制系统装置制造;除尘技术装备制造;电子测量仪器销售;电子测量仪器制造;仪器仪表制造;仪器仪表销售;电子元器件零售;电子元器件制造;五金产品零售;五金产品制造;照相器材及望远镜零售;电工机械专用设备制造;电子元器件与机电组件设备制造;电子元器件与机电组件设备销售;其他通用仪器制造;教学专用仪器制造;教学专用仪器销售;机械设备租赁;工业设计服务;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;机械设备销售;电气设备销售。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动),许可经营项目是:电子产品、家用电器、电视机、显示器、计算机及辅助设备、通讯及广播电视设备、计算机系统、教学及辅助仪器设备、安防监控器设备、室内外大屏显示设备、广告机、触摸互动产品、智能家居产品及其配件、物联网系统设备的生产。
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