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深圳市矢量科学仪器有限公司

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当前位置： > 外延系统 > 12英寸减压选择性外延系统

12英寸减压选择性外延系统

品牌：北方华创

产地：北京

型号： Hesper Ⅱ E630R plus

报价：面议

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核心参数

产地类别：国产

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分子束外延MBE

产品介绍

1. 产品概述

Hesper Ⅱ E630R plus 12英寸减压选择性外延系统，多区红外加热协同激光微区补偿，温场均匀可控。

2. 设备用途/原理

Hesper Ⅱ E630R plus 12英寸减压选择性外延系统，多区红外加热协同激光微区补偿，温场均匀可控，高精度温控系统设计，工艺稳定性及重复性可控优良，主、辅助、交叉气路配合气流场设计及优良的压力控制系统，气流场均匀可控，高效传输Hesper Ⅱ E630R plus 12英寸减压选择性外延系统，多区红外加热协同激光微区补偿，温场均匀可控算法，腔室利用率 >99.8%。

3. 设备特点

晶圆尺寸 12 英寸，适用材料硅，适用工艺锗硅、磷硅、硅选择性减压外延，适用域科研、集成电路。百科：‌减压外延‌是一种在低于一个大气压下进行化学气相外延的方法，主要用于硅外延。其特点包括：‌自掺杂效应减少‌：减压外延可以减少自掺杂效应，提高外延层的纯度。‌过渡层厚度缩小‌：此方法有助于缩小过渡层的厚度，提高外延层的质量。‌外延层均匀性改善‌：能够改善外延层的厚度与电阻率的均匀性，提高材料的性能一致性。‌埋层图形漂移减轻或排除‌：可以减轻或排除埋层图形的漂移，保持材料的稳定性。‌使用要求‌：根据衬底与外延层的掺杂种类与浓度、器件的要求，使用的压力一般在(1.3−26)×10−7Pa(1.3−26)×10 −7 Pa范围内。这要求设备具有较高的技术规格，包括高频或辐射加热、气路系统及相应的自动化系统以保持相应的压力，以及需要更大的排气量的真空系统。‌应用领域‌：减压外延已用于超大规模集成电路用外延片的生产，以及选择外延等特殊工艺，显示了其在微电子领域的重要应用价值。减压外延系统的这些特点使其成为制备高质量半导体材料的重要技术之一，特别是在需要高纯度、高性能材料的先进电子器件制造中发挥着关键作用‌。

售后服务

产品货期： 60天

整机质保期： 1年

培训服务：安装调试现场免费培训

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工商信息

企业名称

深圳市矢量科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91440300MA5G1QDA16

成立日期

2020-01-10

注册资本

500万人民币

经营范围

散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

联系方式

深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址

深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801

客服电话

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供北方华创 12英寸减压选择性外延系统Hesper Ⅱ E630R plus，北方华创Hesper Ⅱ E630R plus产地为北京，属于国产外延系统，除了 12英寸减压选择性外延系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多外延系统,客服电话，售前、售后均可联系。

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