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深圳市矢量科学仪器有限公司

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RIE反应离子刻蚀机

品牌： CIF

产地：广东

型号： CIF005

报价：面议

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核心参数

刻蚀原理：等离子体刻蚀

刻蚀原理：采用RIE反应离子诱导激发方式，实现对材料表面各向异性的微结构刻蚀

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产品介绍

一、产品简介

CIF推出RIE反应离子刻蚀机，采用RIE反应离子诱导激发方式，实现对材料表面各向异性的微结构刻蚀。特别适合于大学，科研院所、微电子、半导体企业实验室进行介质刻蚀、硅刻蚀、金属刻蚀等方面研究。使用成本低，性价比高，易维护，处理快速高效。适用于所有的基材及复杂的几何构形进行RIE反应离子刻蚀。具体包括：

(1) 介电材料（SiO2、SiNx等）

(2) 硅基材料（Si，a-Si，poly Si）

(3) III-V材料（GaAs、InP、GaN等）

(4) 溅射金属（Au、Pt、Ti、Ta、W等

(5) 类金刚石（DLC）

二、产品特点

1. 7寸彩色触摸屏互动操作界面，图形化用户操作界面显示，自动监测工艺参数状态，20个配方程序，可存储、输出、追溯工艺数据，机器运行、停止提示。

2. PLC工控机控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。

3. 真空舱体、全真空管路系统采用316不锈钢材质，耐腐蚀无污染。

4. 采用防腐数字流量计，实现对气体输入精准控制。标配双路气体输送系统，可选多气路气体输送系统，气体分配均匀。可输入氧气、氩气、氮气、四氟化碳、氢气或混合气等气体。

5. 采用花洒式多孔进气方式，改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。

6. HEPA高效过滤，气体返填吹扫，防止二次污染。

7. 符合人体功能学的60度倾角操作界面设计，操作方便，界面友好。

8. 采用顶置真空仓，上开盖设计，下压式铰链开关方式。

9. 上置式360度水平取放样品设计，符合人体功能学，操作更方便。

10. 有效处理面积大，可处理最大直径200mm晶元硅片。

11. 安全保护，仓门打开，自动关闭电源。

三、技术参数

型号	RIE200	RIE200plus
舱体内尺寸	H38xΦ260mm	H38xΦ260mm
舱体容积	2L	2L
射频电源	40KHz	13.56MHz
电极	不锈钢气浴RIE电极，Φ200mm	不锈钢气浴RIE电极，Φ200mm
匹配器	自动匹配	自动匹配
刻蚀方式	RIE	RIE
射频功率	10-300W可调（可选10-1000W）	10-300W可调（可选10-600W）
气体控制	质量流量计（MFC）（标配双路，可选多路）流量范围0-500SCCM（可调）
工艺气体	Ar、N₂、O₂、H₂、CF4、CF4+ H2、CHF3或其他混合气体等（可选）
最大处理尺寸	≤Φ200mm
时间设定	1-99分59秒
真空泵	抽速约8m3/h
气体稳定时间	1分钟
极限真空	≤1Pa
电源	AC220V 50-60Hz，所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。

售后服务

产品货期： 60天

整机质保期： 1年

培训服务：安装调试现场免费培训

问商家

CIF等离子体刻蚀CIF005的工作原理介绍

等离子体刻蚀CIF005的使用方法?

CIFCIF005多少钱一台?

等离子体刻蚀CIF005可以检测什么？

等离子体刻蚀CIF005使用的注意事项？

CIFCIF005的说明书有吗？

CIF等离子体刻蚀CIF005的操作规程有吗？

CIF等离子体刻蚀CIF005报价含票含运吗？

CIFCIF005有现货吗？

工商信息

企业名称

深圳市矢量科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91440300MA5G1QDA16

成立日期

2020-01-10

注册资本

500万人民币

经营范围

散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

联系方式

深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址

深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801

客服电话

400-860-5168转5919

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供RIE反应离子刻蚀机CIF005，CIFCIF005产地为广东，属于等离子体刻蚀设备，除了RIE反应离子刻蚀机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多等离子体刻蚀设备,客服电话400-860-5168转5919，售前、售后均可联系。

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