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分体式单靶磁控镀膜仪

品牌: 成越科仪
产地: 河南
型号: 分体式单靶磁控镀膜仪
报价: ¥10万 - 30万
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核心参数

产地类别: 国产

产品介绍

本设备为单靶磁控镀膜仪,可用于金属薄膜的制备,在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用,也可实验室SEM样品制备。

本套配置采用石英真空腔体,镀膜过程全向可视,便于实验的观察记录,腔体设计开启方便,易于清理,十分适合实验室使用。同时设备配有旋转加热样品台,可以有效提高薄膜的均匀性和成膜的质量。整机采用模块化设计,操作逻辑简单,操作界面直观,利于上手。

设备的真空获得系统采用两级真空泵组,前级泵为大抽速机械泵,有效缩从常压至低真空的时间,主泵为涡轮分子泵,抽速高,真空获取速度更快。 整体真空获得系统干净快速。

 技术参数

样品台

尺寸

150mm

加热温度

≤500℃


旋转速度

1-20r/min

控温精度

±1℃

磁控溅射头

数量

2英寸 x1 

冷却方式

水冷

真空腔体

腔体尺寸

φ270mm X 200mm

观察窗口

全向可视

腔体材料

高纯石英

开启方式

顶盖拆卸式

真空系统

机械泵

CY240

抽气接口

KF16

抽气速率

1.1L/s



分子泵

CY600

抽气接口

KF40

抽气速率

600L/s

排气接口

KF40

真空测量

电阻规+电离规



极限真空

10-5Pa数量级

供电电源

AC;220V 50/60Hz

电源配置

直流电源数量

1台

输出功率

500W

输出电压

≤600V

响应时间

<5ms

射频电源数量

1台

输出功率

≤1000W

功率稳定度

≤5W



膜厚监控系统

膜厚仪测量分辨率

±0.03Hz

测量精度

±0.5%

测量上限

50000

测量速度

100~1000ms

水冷系统

水箱容积

9L

流量

10L/min

其他

供电电压

AC220V,50Hz

整机功率

3kw(主机+真空泵)

 


售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 2人次技术培训
免费仪器保养: 一年一次
保内维修承诺: 免费维修
报修承诺: 24小时内响应
工商信息

企业名称

郑州成越科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

410199000051005(1-1)

成立日期

2013-07-17

注册资本

51

经营范围

郑州成越科学仪器有限公司为您提供成越科仪分体式单靶磁控镀膜仪,成越科仪分体式单靶磁控镀膜仪产地为河南,属于国产镀膜机,除了分体式单靶磁控镀膜仪的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多镀膜机,成越客服电话,售前、售后均可联系。

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