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核心参数
产地类别: 国产
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本设备为单靶磁控镀膜仪,可用于金属薄膜的制备,在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用,也可实验室SEM样品制备。
本套配置采用石英真空腔体,镀膜过程全向可视,便于实验的观察记录,腔体设计开启方便,易于清理,十分适合实验室使用。同时设备配有旋转加热样品台,可以有效提高薄膜的均匀性和成膜的质量。整机采用模块化设计,操作逻辑简单,操作界面直观,利于上手。
设备的真空获得系统采用两级真空泵组,前级泵为大抽速机械泵,有效缩从常压至低真空的时间,主泵为涡轮分子泵,抽速高,真空获取速度更快。 整体真空获得系统干净快速。
技术参数
样品台
尺寸
150mm
加热温度
≤500℃
旋转速度
1-20r/min
控温精度
±1℃
磁控溅射头
数量
2英寸 x1
冷却方式
水冷
真空腔体
腔体尺寸
φ270mm X 200mm
观察窗口
全向可视
腔体材料
高纯石英
开启方式
顶盖拆卸式
真空系统
机械泵
CY240
抽气接口
KF16
抽气速率
1.1L/s
分子泵
CY600
KF40
600L/s
排气接口
真空测量
电阻规+电离规
极限真空
10-5Pa数量级
供电电源
AC;220V 50/60Hz
电源配置
直流电源数量
1台
输出功率
≤500W
输出电压
≤600V
响应时间
<5ms
射频电源数量
≤1000W
功率稳定度
≤5W
膜厚监控系统
膜厚仪测量分辨率
±0.03Hz
测量精度
±0.5%
测量上限
50000
测量速度
100~1000ms
水冷系统
水箱容积
9L
流量
10L/min
其他
供电电压
AC220V,50Hz
整机功率
3kw(主机+真空泵)
企业名称
郑州成越科学仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
410199000051005(1-1)
成立日期
2013-07-17
注册资本
51
经营范围
分体式单靶磁控镀膜仪
净化型匀胶机
1500℃布里奇曼炉
高纯石英腔体小型蒸发镀膜仪 CY-EVP180G-LV
电子束蒸发镀膜仪
真空感应熔炼炉CY-SP-25VIM
真空感应熔炼炉CY-15VIMF
1200立式淬火炉
静电纺丝机
1200度高真空滑道炉
单靶等离子溅射镀膜仪
直流双靶磁控镀膜仪
高真空不锈钢腔体等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪
三靶等离子溅射镀膜仪
超声波热解喷涂机
卷对卷式PECVD
1200℃带超声雾化以及进料系统的立式管式炉
旋转管式炉--大进出料罐
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小型高真空蒸发镀膜仪
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