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电子束蒸发镀膜仪

品牌: 成越科仪
产地: 河南
型号: 电子束蒸发镀膜
报价: ¥30万 - 50万
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核心参数

产地类别: 国产

产品介绍

该设备以电子束蒸发方式镀膜设备,主要用于制备各种导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜,微纳器件微加工,电镜样品预处理等,尤其适用蒸镀各种难熔金属材料。不仅可用于玻璃片、硅片等硬质衬底,也可用用于PDMS、PTFE、PI等柔性衬底上镀膜。

 

 

设备技术参数

1、使用条件:环境温度5℃~40℃   电源:三相380 V,功率:≤20 KW,水压:≤2.5bar

2、真空室尺寸:蒸发室尺寸φ500×H500(㎜)

3、电子枪:新型电子枪1套,6穴坩埚

4、样品转盘:样品尺寸:≤φ150mm,样品可旋转,也可上下升降调节样品到电子枪距离(样品托形状按用户要求设计),加热温度≤500℃

5、系统真空度

极限真空:经12~24小时烘烤,连续抽气≤5x10-5Pa

抽气速率:从大气开始40分钟内真空度≤5x10-4Pa

系统漏率:整机漏率≤1×10-8Pa.L/s 停泵关机12小时后,测量真空室真空度≤10Pa

6、抽真空系统FB1200分子泵+机械泵(TRP-36)系统,并设置旁路抽气

7、镀膜监测:采用SQM160膜厚仪进行监测。

8、镀膜厚度的不均匀度6%

 


售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 2人次技术培训
免费仪器保养: 一年一次
保内维修承诺: 免费维修
报修承诺: 24小时内响应
工商信息

企业名称

郑州成越科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

410199000051005(1-1)

成立日期

2013-07-17

注册资本

51

经营范围

郑州成越科学仪器有限公司为您提供成越科仪电子束蒸发镀膜仪,成越科仪电子束蒸发镀膜产地为河南,属于国产镀膜机,除了电子束蒸发镀膜仪的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多镀膜机,成越客服电话,售前、售后均可联系。

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