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高真空不锈钢腔体等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪

品牌: 成越科仪
产地: 河南
型号: CY-EVS180S-HV
报价: ¥5万 - 10万
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核心参数

产地类别: 国产

产品介绍

等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪配备了直流溅射靶和热蒸发组件,不但可以用于等离子溅射方式镀金属膜,也可以用蒸发的方式得到碳或者其他金属单质的薄膜。仪器元件高度集成化,在同一个腔体内即实现了两种镀膜功能;本镀膜仪采用304不锈钢腔体作真空腔体,镀膜过程完全可见。仪器标配双极旋片真空泵,能够快速达到1.0E-3Pa的真空度,极限真空度1.0E-5Pa,可满足大多数蒸发镀膜实验和二极溅射实验所需的真空环境。本仪器体积小,节省空间,能够置于试验台上使用,一机多用,性价比突出,非常适合各大高校及研究机构选用。

离子溅射和蒸发二合一镀膜仪适用范围:

扫描电镜样品表面喷金、蒸金喷碳等操作,以及非导体材料试验电极的制作等。

 

离子溅射和蒸发二合一镀膜仪技术参数:

供电电压

AC220V60Hz

最大功率

1200W

样品台

直径φ65mm;

与蒸发源间距可调,调节范围60mm-100mm

真空腔体

材质:304不锈钢 O.Dφ168mm x I.Dφ160mm x 210mm

最高温度

1700℃

热电偶

B型热电偶

真空计

电子式真空计

真空系统

前级泵:浦发MVP030 无油泵   抽速30L/min

次级泵:莱宝TURBOVAC 90iX   抽速90L/s

真空接口

KF40

进气接口

1/4卡套接头

整机尺寸

500x350x400mm

 

 

 


售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 2人次技术培训
免费仪器保养: 一年一次
保内维修承诺: 免费维修
报修承诺: 24小时内响应
工商信息

企业名称

郑州成越科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

410199000051005(1-1)

成立日期

2013-07-17

注册资本

51

经营范围

郑州成越科学仪器有限公司为您提供成越科仪高真空不锈钢腔体等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪CY-EVS180S-HV,成越科仪CY-EVS180S-HV产地为河南,属于国产镀膜机,除了高真空不锈钢腔体等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多镀膜机,成越客服电话,售前、售后均可联系。

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