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产地类别: 国产
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等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪配备了直流溅射靶和热蒸发组件,不但可以用于等离子溅射方式镀金属膜,也可以用蒸发的方式得到碳或者其他金属单质的薄膜。仪器元件高度集成化,在同一个腔体内即实现了两种镀膜功能;本镀膜仪采用304不锈钢腔体作真空腔体,镀膜过程完全可见。仪器标配双极旋片真空泵,能够快速达到1.0E-3Pa的真空度,极限真空度1.0E-5Pa,可满足大多数蒸发镀膜实验和二极溅射实验所需的真空环境。本仪器体积小,节省空间,能够置于试验台上使用,一机多用,性价比突出,非常适合各大高校及研究机构选用。
离子溅射和蒸发二合一镀膜仪适用范围:
扫描电镜样品表面喷金、蒸金喷碳等操作,以及非导体材料试验电极的制作等。
离子溅射和蒸发二合一镀膜仪技术参数:
供电电压
AC220V,60Hz
最大功率
1200W
样品台
直径φ65mm;
与蒸发源间距可调,调节范围60mm-100mm
真空腔体
材质:304不锈钢 O.Dφ168mm x I.Dφ160mm x 210mm
最高温度
1700℃
热电偶
B型热电偶
真空计
电子式真空计
真空系统
前级泵:浦发MVP030 无油泵 抽速30L/min
次级泵:莱宝TURBOVAC 90iX 抽速90L/s
真空接口
KF40
进气接口
1/4卡套接头
整机尺寸
500x350x400mm
企业名称
郑州成越科学仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
410199000051005(1-1)
成立日期
2013-07-17
注册资本
51
经营范围
分体式单靶磁控镀膜仪
净化型匀胶机
1500℃布里奇曼炉
高纯石英腔体小型蒸发镀膜仪 CY-EVP180G-LV
电子束蒸发镀膜仪
真空感应熔炼炉CY-SP-25VIM
真空感应熔炼炉CY-15VIMF
1200立式淬火炉
静电纺丝机
1200度高真空滑道炉
单靶等离子溅射镀膜仪
直流双靶磁控镀膜仪
高真空不锈钢腔体等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪
三靶等离子溅射镀膜仪
超声波热解喷涂机
卷对卷式PECVD
1200℃带超声雾化以及进料系统的立式管式炉
旋转管式炉--大进出料罐
小型旋转涂覆仪
小型高真空蒸发镀膜仪
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