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应用案例——半导体材料行业(1)

应用领域

电子/电气

检测样品

检测项目

痕量金属检测
痕量金属的检测和定量是半导体工业中的一个重要分析任务。 TOF-SIMS能够以同位素灵敏度检测所有元素(即使是轻质元素)。

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IONTOF / TOFSIMS 飞行时间二次离子质谱 / TOF-SIMS M6型

TOF-SIMS M6

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应用案例——半导体材料行业(5)

应用领域

电子/电气

检测样品

检测项目

OLED - 有机发光显示器
OLED技术用于便携式设备,如手机,便携式音乐播放器,汽车收音机等。 目前最突出的技术问题之一是有机材料的有限寿命,研究不同有机层的化学成分是非常重要的。

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IONTOF / TOFSIMS 飞行时间二次离子质谱 / TOF-SIMS M6型

TOF-SIMS M6

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应用案例——半导体材料行业(4)

应用领域

电子/电气

检测样品

其他

检测项目

尺寸测量
在半导体工业中,例如扩散阻挡层和高k栅介质层等超薄膜的制备越来越多地采用原子层沉积(ALD)技术。 通过测量能量损失,可以计算得到亚纳米精度的薄膜最小和最大厚度。通过分析渐增沉积循环次数时的深度信号变化,可以确定薄膜的生长模式。

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IONTOF 低能离子散射谱LEIS Qtac

Qtac

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应用案例——半导体材料行业(3)

应用领域

电子/电气

检测样品

检测项目

有机污染物
有机污染物的监测对于半导体行业来说变得越来越重要。TOF-SIMS提供关于硅片表面的详细无机和有机信息。

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IONTOF / TOFSIMS 飞行时间二次离子质谱 / TOF-SIMS M6型

TOF-SIMS M6

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应用案例——半导体材料行业(2)

应用领域

电子/电气

检测样品

检测项目

超浅层离子注入的深度剖析
超浅层深度分析的典型应用领域是SIMS在半导体行业应用的经典课题。 该技术可以平行检测所有质量,并且在低能量溅射下具有优异的灵敏度,非常适用于筛查和区分。

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IONTOF / TOFSIMS 飞行时间二次离子质谱 / TOF-SIMS M6型

TOF-SIMS M6

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