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应用案例——半导体材料行业（5）
2022/04/24 12:05
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方案摘要：
产品配置单：
IONTOF / TOFSIMS 飞行时间二次离子质谱 / TOF-SIMS M6型
型号： TOF-SIMS M6
产地： 德国
品牌： IONTOF
¥1000万 - 2000万
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方案详情：
案例五、OLED - 有机发光显示器
 | OLED技术用于便携式设备，如手机，便携式音乐播放器，汽车收音机等。 目前最突出的技术问题之一是有机材料的有限寿命，研究不同有机层的化学成分是非常重要的。 |
| 图示为OLED像素的三维分析（用氩团簇离子源溅射） |
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应用案例——半导体材料行业（4）
在半导体工业中，例如扩散阻挡层和高k栅介质层等超薄膜的制备越来越多地采用原子层沉积（ALD）技术。 通过测量能量损失，可以计算得到亚纳米精度的薄膜最小和最大厚度。通过分析渐增沉积循环次数时的深度信号变化，可以确定薄膜的生长模式。
电子/电气
2022/04/24
应用案例——半导体材料行业（2）
超浅层深度分析的典型应用领域是SIMS在半导体行业应用的经典课题。 该技术可以平行检测所有质量，并且在低能量溅射下具有优异的灵敏度，非常适用于筛查和区分。
电子/电气
2022/04/24
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