2022/04/24 11:40
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产品配置单:
IONTOF / TOFSIMS 飞行时间二次离子质谱 / TOF-SIMS M6型
型号: TOF-SIMS M6
产地: 德国
品牌: IONTOF
¥1000万 - 2000万
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方案详情:
案例一、痕量金属检测
![]() | 痕量金属的检测和定量是半导体工业中的一个重要分析任务。 TOF-SIMS能够以同位素灵敏度检测所有元素(即使是轻质元素)。 高质量分辨率,高质量精度和良好的信噪比可使灵敏度达到1E7至1E9 atoms/cm2。 该技术可应用于带图案的硅片,甚至硅片的背面,也不会降低灵敏度。 该技术通过使用外部标准进行定量,其准确度与其他技术(如TXRF或ICP-MS)相当。 |
如图所示硅片表面质谱的细节。高质量分辨率和准确度使得痕量金属可以明确被识别。 |
更多案例请参考我司官网:http://www.iontof.com.cn/bk_17198958.html
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