2022/04/24 11:52
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产品配置单:
IONTOF / TOFSIMS 飞行时间二次离子质谱 / TOF-SIMS M6型
型号: TOF-SIMS M6
产地: 德国
品牌: IONTOF
¥1000万 - 2000万
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方案详情:
案例三、有机污染物
有机污染物的监测对于半导体行业来说变得越来越重要。TOF-SIMS提供关于硅片表面的详细无机和有机信息。
污染物的可能来源是:
1. 工艺化学品(光刻胶,清洁剂(POx,SOx,...)
2. 接触污染物(手套,工具,硅片支架,...)
3. 洁净室污染物(过滤器相关组件,吸附物,...)
4. 包装材料(硅片盒,...)
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