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粉丝量 0
核心参数
仪器种类： 普通真空快速退火炉
产地类别： 国产
样品尺寸： 2-4英寸
温度范围： 300℃-1000℃
最高升温速率： ≦100℃/sec(裸片)
降温速率： 30-80°C/s
退火温度准确性： ±1
退火温度均匀性： ≦±1%
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设备规格：
1.手动操作模式；
2. 适应于 2英寸-4英寸 晶圆或者支持 (100mmx100mm)样品；
3.退火温度范围 300℃-1000℃；
4.升温速率 ≦100℃/sec(裸片)；
5.温度均匀性 ≦±1%(>500 ℃)；
6.常压腔体（可选配真空腔体）；
7.冷却方式包括水冷和氮气吹扫；
8.MFC控制，1-4路制程气体。
企业名称
量伙半导体设备（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91310116MAJ8N934E
成立日期
2018-12-10
注册资本
500
经营范围
半导体设备的研发、销售，半导体设备科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让，机电产品、光电产品的销售，从事货物及技术进出口业务。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】
量伙半导体设备（上海）有限公司
公司地址
上海市浦东新区张江秋月路26号矽岸国际1号3楼
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