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粉丝量 0
核心参数
仪器种类： 高真空快速退火炉
产地类别： 国产
样品尺寸： 最大支持 150mmx150mm 样品
温度范围： 1000℃
最高升温速率： 100℃/s
降温速率： 30℃/s
退火温度准确性： 0.5℃
退火温度均匀性： ±1%
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我司具有软件、自动化和机械等整套研发人员，可依据客户需求，完成定制化设备的研发生产。
工艺应用:
快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；
离子注入/接触退火；
高温退火；
高温扩散。
金属合金；
热氧化处理；
应用领域：
化合物半导体（砷化镓、氮化物、碳化硅等）；
多晶硅；
太阳能电池片；
MEMS；
功率器件；
IC晶圆；
LED晶圆。
企业名称
量伙半导体设备（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91310116MAJ8N934E
成立日期
2018-12-10
注册资本
500
经营范围
半导体设备的研发、销售，半导体设备科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让，机电产品、光电产品的销售，从事货物及技术进出口业务。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】
量伙半导体设备（上海）有限公司
公司地址
上海市浦东新区张江秋月路26号矽岸国际1号3楼
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