核心参数
仪器种类: 普通真空快速退火炉
产地类别: 国产
样品尺寸: 于 2英寸-12英寸
温度范围: 300℃-1000℃;
最高升温速率: ≦150℃/sec(裸片);
降温速率: 30-80°C/s
退火温度准确性: ±1
退火温度均匀性: ≦±1%(>500 ℃);
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设备规格:
1.半自动操作模式,自动开关腔门、条码识别;
2. 适应于 2英寸-12英寸 晶圆,支持 4寸9片晶圆或者 单片(300mmx300mm)样品,可定制双腔体模式,单次可处理18片4寸晶片;
3.退火温度范围 300℃-850℃;
4.升温速率 ≦150℃/sec(裸片);
5.温度均匀性 ≦±0.5%(>500 ℃);
6.真空腔体(可选配常压腔体或正压腔体);
7.冷却方式包括水冷和氮气吹扫;
8.MFC控制,3-5路制程气体。
企业名称
量伙半导体设备(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91310116MAJ8N934E
成立日期
2018-12-10
注册资本
500
经营范围
半导体设备的研发、销售,半导体设备科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让,机电产品、光电产品的销售,从事货物及技术进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
量伙半导体设备(上海)有限公司
公司地址
上海市浦东新区张江秋月路26号矽岸国际1号3楼
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