美国SONIX超声波显微镜 ECHO LS™

产品特点
SONIX Echo-LS 能检测到小至 0.05um 的缺陷，而且对于 bump、叠 die(3D 封装)、倒装芯片及各种传统的塑料封装等具有卓越的检测性能。提高生产效率和产量，使用 ECHO 的设备和软件

• 容易的设置和使用

• 工艺过程监测

• 合格/失效分选

• 专业认证

SONIX 扫描探头频率范围从 10MHz 到 300MHz,适合各种类型的应用和材料。

其它关键特点：

• 减少实验室空间（占地面积小）

• 键盘快捷键（方便移动操作）

• 全焊接机身框架（促进平台稳定性）

• 降低水槽高度（人体工程学设计）

• 可同时进行反射扫描和透射扫描

• 最大 360 度可视

• 超大扫描面积

• 水槽底部倾斜（易于排干水）

• 探头随 Z 轴移动（取代托盘上下移动）

• 可滑动支架

• 符合欧洲机械指令

• 紧凑、稳定的结构设计（低维护）

• 符合 CE,SEMI S2,NRTL

• 可滑动的电气面板（方便维护）

• 防静电涂层（安全罩、水槽、门等）

规格参数：

扫描轴（X 轴）：

• 定位装置： 线性伺服马达

• 最大速度：1000mm/sec

• 重复精度：+/-0.5um

• 编码器分辨率：0.5um

• 最大扫描区域：350mm

步进轴（Y 轴）：

• 定位装置：低电磁干扰导轨式步进马达

• 分辨率：0.25um

• 最大扫描区域：350mm

聚焦轴（Z 轴）：

• 定位装置：低电磁干扰导轨式步进马达

• 分辨率：0.25um

• 最大行程：50mm

夹具：

• JEDEC 标准尺寸托盘夹具

• 扫描平台可固定特有的托盘夹具

• 透射杆探头固定

机台尺寸：

• W31”xD31”xH48’’(约长 79cm*宽 79cm*高 122cm)

流体系统：

• 循环泵和 5um 过滤器

超声波仪器

• DPR500 接收器 配置 L2/H4 脉冲发生器

• 可选 U4 超高频脉冲发生器

其它：

• 带脚轮的摆放桌

• 紧急开关和安全锁

• 较低的取放样品区域

其它特色软件功能选项

• TAMI  SCAN: 一次扫描得到最多 200 张断层图像

• ICEBERG: 强大的离线分析技术

• WinIC Pro: 增加功能和分析

• WinIC Offiline：远程分析

• Waveform Simulator/Beam Emulator ：波形仿真器

 
ECHO 机台面板与 WinIC 软件的组合，给用户提供一个强大、简易使用的分析工具。WinIC 软件是 Sonix 公司独家研发的超声波扫描显示镜成像软件，提供先进的图像分析功能以帮助定量和定性分析图像数据。WinIC 使用大量的图形和屏幕指导帮助所有用户，从入门到精通。
 

SONIX 软件 -  应用于塑封FlipChip和Stacked Die产品的成像功能