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反应离子刻蚀机
SAMCO RIE-10NR
简介： RIE-10NR是一种新型的低成本、 高性能、全自动反应离子刻蚀系统， 能够满足非腐蚀性气体化学最苛刻 的工艺要求。 计算机化触摸屏为工艺配方编 程和存储提供了用户友好的界面。 该系统可以实现精确的侧壁轮 廓控制和材料之间的高蚀刻选择性。 凭借其圆滑、紧凑的设计， RIE-10NR只需要很小的洁净室空间。 应用: 硅、二氧化硅、氮化硅、多晶硅、 砷化镓、钼、铂、聚酰亚胺等材料的 腐蚀失效分析中的选择性层腐蚀。 |  |
主要参数规格： | |
基板 | 220 mm（ø3“x 5，ø4”x 3，ø8”x 1） |
负载 | 开放式 |
上下电极 | ø240 mm |
射频功率 | 300瓦@13.56兆赫，自动匹配（500瓦为选项） 可切换射频供电电极（阳极/阴极模式）为选项 |
气体管道 | 内部2条MFC控制的气体管道（最多6条） |
泵 | 干泵（500升/分钟） |
操作系统 | 触摸屏操作（可选择基于Windows的用户界面）、配方管理 |
端点检测 | 光学发射光谱（OES）作为一种选择 |
尺寸 | 500 mm（宽）x 920 mm（深）x 1501 mm（高） |
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企业名称
似空科学仪器（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91310115MA1H9W0N9G
成立日期
2018-04-16
注册资本
500
经营范围
从事仪器仪表科技、计算机软硬件科技、工业自动化科技、智能科技、电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让,仪器仪表、实验室设备、电子产品 、一般劳防用品、机电设备及配件、塑料制品、五金交电、日用百货、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品)的销售,从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
似空科学仪器（上海）有限公司
公司地址
张江微电子港7号楼7楼
客服电话
公司名称： 似空科学仪器（上海）有限公司
公司地址： 张江微电子港7号楼7楼 联系人： 袁经理 邮编： 201203 联系电话： 400-860-5168转4452
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