2018-01-16 16:19
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针对硬质涂层,半导体薄膜等薄膜残余应力测试表征。基于基片弯曲法Stoney公式测量原理,利用光杠杆技术获得基本曲率半径,进而换算获得应力数据。根据不同应用场景,具有两种测试模式:测试范围内各个数据点应力mapping数据或样品表面整体平均残余应力。
1.离化空气产生活性氧原子及臭氧清洗表面有机污染物; 2.离化空气产生等离子体活化表面,提高表面亲水性; 3.无热损伤,无离子轰击损伤; 4.一体式设备,即插即用,空气气源(无需额外气源)。
1.便携手持式大气冷等离子发生器; 2.无需额外气源,利用空气作为气源; 3.通过离化空气产生臭氧清洗表面有机污染物; 4.灭菌或抑菌作用; 5.高效,即插即用。
若TEM样品杆长期暴露于大气,空气中水汽及残留污染物会附着于样品杆表面。当样品杆重新安装样品并插入TEM中时,会发生: 1.样品杆表面(包括杆内外表面)残存水汽缓慢地释放,大大延长了TEM抽真空时间(由于原位TEM样品杆内部结构复杂,内表面积大大增加,其进入TEM后抽真空延时现象尤甚); 2.残留污染物会污染待观察样品,甚至会污染TEM真空腔室及内部极靴、探测器等等。 从实用角度考虑,平时不用时,将样品及样品杆存放于真空存储站内;需要使用时,将样品杆从真空存储站内取出,固定好样品后即时插入TEM中。如此就能够保证样品杆与大气中水汽及污染物最大程度的隔绝,有效保证:1.TEM样品抽真空时间大大缩短;2.减少对TEM真空腔室及部件的污染。