2020-05-20 10:18
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【速普仪器】Mini Coater磁控离子溅射仪
型号: SuPro Mini Coater
产地:
品牌: 速普仪器
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【SuPro】电镜样品等离子清洗仪spc150
型号: SPC 150
产地:
品牌: 速普仪器
¥ 50万
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速普仪器【SuPro】辉光放电仪Coolglow
型号: Coolglow
产地:
品牌: 速普仪器
¥ 10万
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速普仪器【SuPro】离子清洗仪IC150
型号: IC 150
产地:
品牌: 速普仪器
¥ 24万
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速普仪器【SuPro】等离子清洗仪IC150
型号: IC150
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针对硬质涂层,半导体薄膜等薄膜残余应力测试表征。基于基片弯曲法Stoney公式测量原理,利用光杠杆技术获得基本曲率半径,进而换算获得应力数据。根据不同应用场景,具有两种测试模式:测试范围内各个数据点应力mapping数据或样品表面整体平均残余应力。
1.便携手持式大气冷等离子发生器; 2.无需额外气源,利用空气作为气源; 3.通过离化空气产生臭氧清洗表面有机污染物; 4.灭菌或抑菌作用; 5.高效,即插即用。
若TEM样品杆长期暴露于大气,空气中水汽及残留污染物会附着于样品杆表面。当样品杆重新安装样品并插入TEM中时,会发生: 1.样品杆表面(包括杆内外表面)残存水汽缓慢地释放,大大延长了TEM抽真空时间(由于原位TEM样品杆内部结构复杂,内表面积大大增加,其进入TEM后抽真空延时现象尤甚); 2.残留污染物会污染待观察样品,甚至会污染TEM真空腔室及内部极靴、探测器等等。 从实用角度考虑,平时不用时,将样品及样品杆存放于真空存储站内;需要使用时,将样品杆从真空存储站内取出,固定好样品后即时插入TEM中。如此就能够保证样品杆与大气中水汽及污染物最大程度的隔绝,有效保证:1.TEM样品抽真空时间大大缩短;2.减少对TEM真空腔室及部件的污染。
ISC150离子溅射仪升级版本,采用无油隔膜泵+分子泵获得高真空环境,保证样品喷金处理过程不会产生二次污染。特别适用于追求高分辨率FE-SEM样品的喷金喷铂,光电薄膜制备,电极材料制备及其他金属镀膜用途。 150T版本离子溅射仪主要的特点就是“无油,高真空”,制备薄膜纯度更高,薄膜质量更优;并且能够在超净间内使用。