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桌面单点测量▼
低成本的台式少子寿命测量系统,对不同制备阶段的硅材料电学参数进行表征。没有内置自动化。可选配手动z轴,用于厚度在156毫米以下的晶锭。
MDPspot可配电阻率测试选项,常规仅适用于硅,也可用于没有高度调整可能性的晶圆片以及晶锭,不过需对这两个选项之一进行预定义。
MDPspot配备结果可视化的标准软件。
设备特性▼
l 无接触和非破坏的电学参数测试
l 对外延工艺监控和不可见缺陷检测,具有可视化测试的较高分辨率
l 对于不同级别晶圆片,提供不同的菜单选项
产品优势▼
l 用于不同制备阶段,从成体到最终器件,多晶硅或单晶硅单点测量载流子寿命的台式装置。
l 体积小,成本低,使用方便。拥有一个基本的软件,结果可视化。
l 适用于晶圆片到晶锭,易于高度调整。
技术参数▼
样品
不同工艺处理样品,如钝化或扩散后的单晶或多晶硅晶圆、晶锭、电池等
样品尺寸
50 x 50 mm2 到12“ 或210 x 210 mm2
电阻率
0.2 - 103 Ohm cm
材质
硅晶圆,晶锭,部分或全部加工晶圆,化合物半导体和其它类型
少子寿命检测范围
20ns到几十ms
尺寸
360 x 360 x 520 mm,质量:16 kg
电源
110/220 V, 50/60 Hz, 3 A
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MDPspot少子寿命测试仪
型号:MDPspot少子寿命测试仪
面议
企业名称
束蕴仪器(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310120003388984
成立日期
2016-09-23
注册资本
500
经营范围
仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品)、一般劳防用品、玻璃制品的批发、零售,从事仪表科技、机械科技、机电科技、电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务,一类医疗器械、仪表仪器的维修,一类医疗器械批发、零售,自有设备租赁,设计、制作各类广告,电子商务(不得从事金融业务),从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
公司地址
上海市松江区新桥镇千帆路288弄3号楼602室-1
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公司名称: 束蕴仪器(上海)有限公司
公司地址: 上海市松江区新桥镇千帆路288弄3号楼602室-1 联系人: 蒋健林 邮编: 201106 联系电话: 400-860-5168转4058
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