Freiberg Instruments少子寿命测试仪MDPspot少子寿命测试仪的工作原理介绍
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MDP少子寿命测试仪 | 掺杂样品的光导率测量
B(硼)和P(磷)的掺杂被用于微电子工业的许多应用,但是到目前为止,还没有一种方法可以在不接触样品并由于必要的退火步骤而改变其特性的情况下检查这些掺杂的均匀性。到目前为止的困难是,掺杂区域通常只有几微米的深度,而且掺杂的剂量非常低。MDP能够以高的分辨率来描述这些掺杂的样品,并能很好地区分不同的掺杂剂量。
半导体
2023/06/15
MDP少子寿命测试仪 | 铁浓度测定
铁浓度的精确测定是非常重要的,因为铁是硅中非常丰富也是较大有害的缺陷之一。因此,有必要尽可能准确和快速地测量铁的浓度,而且要有很高的分辨率,好的方法 是在线测量。
半导体
2023/06/10
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