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Mono- and Multi-crystalline wafer lifetime measurement device
应用范围：用于精密材料研发的单晶和多晶片的寿命测量
特性
●灵敏度：外延片不可见的缺陷和检测的 灵敏度的可视化
●测量速度：6英寸硅晶圆片，1mm分辨率 ，小于5分钟
●使用寿命: 20纳秒到几毫秒
●污染测定：源自炉和设备的金属(Fe)污染
●测量能力：从初始切割的晶圆片到完全加工的样品
●灵活性：固定测量头允许外部激光与触发器耦合
●可靠性： 模块化和紧凑的台式仪器，更高的可靠性和正常运行时间> 99%
●重现性： > 99.5%
●电阻率：不需要频繁校准
用于研发或生产监控的灵活检测工具
MDPmap是一个紧凑的台式无触点电子特性的离线生产控制或研发的工具。可测量参数如载流子寿命、光电导性、电阻率、缺陷信息在稳态或注入范围宽短脉冲励磁(μ-PCD)。自动化的样品识别和参数设置可以方便地适应各种不同的样品，包括在不同的制备阶段，从生长的晶圆片到高达95%的金属化晶圆片的外延片和晶圆片。。
MDPmap的主要优点是其高度的灵活性，它允许集成最多4个激光器，用于从超低注入到高注入的依赖于注入水平的寿命测量，或者使用不同的激光波长提取深度信息。包括偏置光设施以及μ-PCD或稳态注入条件的选项。可以使用不同的图进行客户定义的计算，也可以导出原始数据进行进一步的评估。对于标准计量任务，可用一个预定义的标准，使常规测量只需按一个按钮。
Freiberg Instruments其他半导体检测仪MDPmap的工作原理介绍
其他半导体检测仪MDPmap的使用方法?
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应用分享 | MDP在4H-SiC少子寿命中的应用
少数载流子寿命是影响半导体器件性能的基本参数之一，特别是对于应用在高压器件中的SiC来说。对于外延层来说，载流子寿命的主要影响因素是相当复杂的，因为外延层表面、外延层-衬底界面、外延层和衬底这都有助于载流子复合行为。
半导体
2023/06/28
企业名称
束蕴仪器（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310120003388984
成立日期
2016-09-23
注册资本
500
经营范围
仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品)、一般劳防用品、玻璃制品的批发、零售,从事仪表科技、机械科技、机电科技、电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务,一类医疗器械、仪表仪器的维修,一类医疗器械批发、零售,自有设备租赁,设计、制作各类广告,电子商务(不得从事金融业务),从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
束蕴仪器（上海）有限公司
公司地址
上海市松江区新桥镇千帆路288弄3号楼602室-1
客服电话
公司名称： 束蕴仪器（上海）有限公司
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