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Tergeo-EM 等离子清洗机
● 集成直接浸泡和远程/Downstream清洗模式
● 实时检测等离子体强度的等离子体传感器
● 可毫秒级别短脉冲操作。
● All-in-one实验室等离子蚀刻、处理和清洗系统。
● 用于批量加工的大型样品室，带有矩形石英样品托盘
● 双TEM 适配器，可配置为支持两个不同品牌的样品杆
支持不同TEM/SEM系统
| Direct & downstream 清洗模式 | ||
 |  | |
敏感的样品如何用传统等离子清洗？
通常需要很高的射频功率来点燃等离子体，但是一旦等离子被点燃，等离子就可以较低的射频功率维持。但是传统的等离子体清洗机很难自动、可靠地产生极弱的等离子体来处理诸如TEM碳膜和对热等敏感样的品。
为什么Tergeo EM可以轻松处理易破和热敏性样品？
Tergeo EM等离子清洗机集成SmartClean TM独特的等离子传感器，可以实时测量等离子强度，系统控制器不断地了解等离子体的状态。如果等离子体未能在低射频功率设置下点燃，系统将自动增加射频功率，直到等离子体点燃。一旦等离子体点燃，系统将立即将射频功率降低到配方设置。这一功能使Tergeo EM的射频功率比同产品功率低得多。
同系统中包含两种直接浸泡和远程Downstream清洗模式。远程Downstream清洗模式提供了一种温和的处理方法，可以显著减少传统直接模式等离子体系统中的样品加热、离子溅射问题。
系统还可选择脉冲模式操作，该模式能够可靠地产生平均功率小于0.25瓦的极弱等离子体。
用户单位
采购时间
采购数量
深圳大学
2018/10/24
1
澳门大学
2017/08/10
1
大连化物所
2017/07/27
1
北京大学
2017/03/29
1
香港中文大学
2017/12/01
2
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企业名称
德国韦氏纳米系统（香港）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
成立日期
2015-08-13
注册资本
500
经营范围
德国韦氏纳米系统有限公司
公司地址
香港九龍尖沙咀漆咸道南45-51號
客服电话
公司名称： 德国韦氏纳米系统有限公司
公司地址： 香港九龍尖沙咀漆咸道南45-51號 联系人： Amy zhou 邮编： 999077 联系电话： 400-860-5168转3855
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