核心参数
仪器种类: 升降炉
产地类别: 进口
最高温度: 标准配置:up to 1250°C 高温配置;up to 1450°C
控温精度: +-1%
最大功率: 30 kW (34 kW)
升温速度(达到最高温): up to 200°C/s
加热方式: 红外加热 up to 200°C/s
内部尺寸: Up to 100 mm diameter (4-inch) Up to 150 mm diameter (6-inch)
AS-One系统有两种型号: AS-One 100 系统或AS-One 150 系统
该快速退火炉是专门为满足大学、研究实验室和小规模生产的需求而研制的,高可靠且性价比高。
该工艺室采用贝壳式设计,可完全进入底板,方便装载和卸载基板,并允许实际清洁腔体
快速数字PID温度控制器在整个温度范围内提供精确和可重复的热控制。
特征: | |
基本尺寸: | Up to 直径100 mm (4-inch) for AS-One 100 Up to 直径150 mm (6-inch) for AS-One 150 Small substrates using susceptors |
工艺腔体 | 运用不锈钢冷腔室壁技术 |
温度范围 | 标准配置:最高达到1250°C 高温配置:最高达到1450°C |
温度控制 | 标准配置:热电偶和高温计用来测量温度 快速数字PID温度控制器在可获得精确的和可重复的热控制 |
真空和气体 | 最多可达5路带MFC的工艺气体,一路清洁气体 |
电脑控制 | 全PC电脑控制,每个配方最多100步骤 全数据记录与处理历史的人机界面设计 |
选项: | |
石墨托盘/碳化硅涂层托盘/粗真空泵和涡轮泵/快速冷却系统/其他套件 | |
应用: |
● 快速热退火
● 快速热氧化
● 扩散/接触时退火
● 化合物退火
● 结晶或致密化
我公司专业销售Annealsys产品,并提供Annealsys产品的售前售后服务,如您对Annealsys产品感兴趣,欢迎前来咨询!
Annealsys马弗炉AS-One systems的工作原理介绍
马弗炉AS-One systems的使用方法?
AnnealsysAS-One systems多少钱一台?
马弗炉AS-One systems可以检测什么?
马弗炉AS-One systems使用的注意事项?
AnnealsysAS-One systems的说明书有吗?
Annealsys马弗炉AS-One systems的操作规程有吗?
Annealsys马弗炉AS-One systems报价含票含运吗?
AnnealsysAS-One systems有现货吗?
企业名称
德国韦氏纳米系统(香港)有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
成立日期
2015-08-13
注册资本
500
经营范围
德国韦氏纳米系统有限公司
公司地址
香港九龍尖沙咀漆咸道南45-51號
客服电话