Tergeo等离子清洗机
特 征: ● 模式:直接浸泡式等离子清洗可以高速刻蚀和表面改性; 远程等离子体可以轻微的清除表面污染,如SEM/TEM样 品清洗 ● 操作:自动配方执行;自动作业顺序执行;亦手动控制 ● 等离子传感器:双等离子强度传感器(专利申请中)实时监测 等离子源和远程等离子源且等离子强度实时显示LCD触摸屏上 ● 先进工艺控制:压力传感器、温度传感器、MFC气体流量计、双等离子强度传感器、自动阻抗匹配 ● 腔体材料:铝法兰,石英腔体 ● 石英腔体尺寸:内径:110mm;深280mm ● 样品架:2mm厚高纯度石英板 ● 射频天线:外部射频电极和天线设计减少了内部金属电极 在等离子清洗机中发现的金属溅射问题 ● 射频功率:13.56mhz射频电源,自动阻抗匹配 射频功率有两种选择:0-75watt和0-150watt ● 工艺气路:高达三个MFC气路 ● 用户界面:7寸电阻式触摸屏 ● 软件:总共20个可定制的配方。每个工艺多达三个步骤 |
Direct & downstream 清洗模式 | ||
引线键合倒装芯片底部填充,器件的封装和解封
光刻胶灰化、除渣、硅片清洗
PDMS/微流控/载玻片/芯片实验
去除的扫描电镜/电镜样品上碳氢污染物
改善金属与金属或复合材料的结合
改善塑料、聚合物和复合材料的粘接
PDMS/玻璃键合的应用笔记
Recipe :
PDMS bonding: RF power 15Watt
RF pulse duty ratio: 10% to 20%Gas: Room air
Flow rate: 5sccm
Time: 30~60 seconds
Figure 1 经过等离子体处理后,PDMS立即与玻璃结合,界面截留的气体被自动挤出,无需在烤箱里固化PDMS/玻璃胶几个小时。
Figure 2,粘合一分钟后,用户试图测试PDMS/玻璃粘合度,由于粘合非常牢固,即使由于强大的拉力部分PDMS被撕掉之后,PDMS/玻璃粘合界面仍然完好无损。
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用户单位
采购时间
采购数量
深圳大学
2018/09/27
3
南洋理工
2017/07/09
1
香港中文大学
2017/11/03
1
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企业名称
德国韦氏纳米系统(香港)有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
成立日期
2015-08-13
注册资本
500
经营范围
德国韦氏纳米系统有限公司
公司地址
香港九龍尖沙咀漆咸道南45-51號
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