核心参数
产地类别: 进口
应用领域: 半导体
设计用于以下应用:
显影、清洁和干燥
应用于显影工艺的设备,适用的基板尺寸最大到8英寸的圆片 和最大到6英寸x6英寸的方片。新设计的三片式可拆卸工艺腔体可实现良好的工艺均匀 性和重复性,设备也可用于清洗和旋干工艺。 落地式柜体经专门设计,方便操作和维修。它是一款手动显影机,适用于实验室开展科学研究和技术开发。设备具有多选项(例如可编程流体输送臂)并且可以升级成自动化的系统达到更高的片到片工艺重复性。
1. UNIXX D20 高级版
(直径200mm)带有可移动飞溅环的独立系统,用于手动装载/卸载单个基材。
2.UNIXX D30标准
(Ø300毫米)单机系统为用户提供
在科学方面,以及具有高效、安全和清洁系统的研究。
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企业名称
迈可诺技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
民营
信用代码
39982968-000-11-23-9
成立日期
2008-02-21
注册资本
139万
经营范围
通讯电子产品、机械自动化产品、半导体产品、计算机信息技术产品研发、销售及技术服务
迈可诺技术有限公司
公司地址
武汉市洪山区
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