Pico 等离子设备可以组合成不同的派生型,例如组合成模块系统。下面是能够与 Pico 等离子系统组合使用的最常见选装件的概览。Pico 系统主要应用于以下领域:
分析 (REM, TEM),考古,汽车,研究和开发部门,半导体技术,小批量生产,塑料技术,医疗技术,微系统技术,传感技术,灭菌,纺织技术
1.基本装备:
根据组件/选装件,外壳规格会有所不同
腔室容积:根据具体版本 4 - 15 升
供电电源:台式设备为 230 V,立式设备为 400 V/3 相位
2.气体供给:针型阀,质量流量控制器 (MFC)
3.真空腔室:
圆形不锈钢,带盖(约 ∅ 150 mm,长 320 mm 或长 600 mm)或
矩形不锈钢,带铰链的门(约宽 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或 600 mm)
矩形铝材,带铰链的门(约 ∅ 160 mm x 160 mm,长 325 mm 或长 600 mm)
圆形石英玻璃 (UHP),配有盖子或者带铰链的门(约直径130 mm,长 300mm或600 mm)
圆形硼硅玻璃 (UHP),配有盖子或者带铰链的门(约直径130 mm,长 300 mm或600 mm)
4.装载件
产品支架(选项:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃
5.电极:单层或多层,RIE
6.控制系统
半自动型
Basic PC 控制系统 (Microsoft Windows CE)
Full PC 控制系统 (Windows 10 IoT)
7.压力测量:Pirani,电容式压力计(适用于腐蚀性气体版本)
8.计时器:数字
9.发生器
频率:
40 kHz:功率 0 - 200 W;0 -1000 W
100 kHz:功率 500 W
80 kHz:功率 1000 W
13.56 MHz:功率 0 - 100 W;0 - 300 W
2.45 GHz:功率 0 - 300 W
所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型
10.真空泵
不同规格,来自不同制造商(根据需要配备活性炭过滤器)
11.其他选项
备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉利笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM 样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项