SPS系列手动探针台

适用于最大 150 毫米晶圆测试的 SPS-1000 系列是 MicroXact 手动探针台的缩小版，仍然保留了更高价格系统的所有相关规格。该系统小巧、符合人体工程学且使用方便，是半导体器件和电路的实验室测试和表征的理想选择。全手动载物台组件包含精密交叉滚子轴承，运动范围为 100mm x 100mm 或 150mm x 150mm（或更大）。额外的预载滑轨可轻松装卸晶圆或内含样品,通过粗调和微调以及 12.7 毫米、25 毫米或 40 毫米的范围方便地手动控制压板 光滑的磁性钢压板最多可容纳10 个磁性或真空定位器。具有高达 200 毫米工作距离和高强度 LED 照明的高质量立体变焦显微镜在 3.5 倍至 180 倍的放大倍率范围内提供出色的视觉效果。

适用于最大 200 毫米晶圆测试的 SPS-1200 系列是 MicroXact 的 SPS-2200 手动探针台的缩小版，它仍然保留了更高价格系统的所有相关规格。小巧、符合人体工程学且使用方便的系统是半导体器件和电路的实验室测试和表征的理想选择。

全手动载物台装配，带精密交叉滚子轴承，运动范围为 200mmx200mm。包含一个预载滑轨，可轻松装载和卸载晶圆或样品。方便的手动控制压板，粗调和精调范围为 12 毫米或 25 毫米。光滑的磁性钢压板最多可容纳 10 个磁性或真空定位器。具有高达 200 毫米工作距离和高强度 LED 照明的高质量立体变焦显微镜在 3.5 倍至 180 倍的放大倍率范围内提供出色的视觉效果。

SPS-2000 系列是 MicroXact 首屈一指的手动探针台，设计灵活且易于使用。我们的系统提供了一定水平的高性能，使这些站点独树一帜。凭借多种可用选项，包括热晶圆卡盘、立体变焦、复合或数字显微镜以及全射频外壳，该系统的灵活性几乎是无限的。

全手动载物台装配，带精密交叉滚子轴承，运动范围为 100mm x 100mm（或更大）。还提供额外的预加载滑块，以便轻松加载和卸载晶圆或样品。完全手动控制压板，粗调和精调范围为 12.7 毫米（可根据要求提供更大范围）。光滑的粉末涂层钢板可容纳多达 10 个磁性或真空定位器。具有高达 200 毫米工作距离和高强度 LED 照明的高质量立体变焦显微镜在 3.5 倍至 180 倍的放大倍率范围内提供出色的视觉效果。

SPS-2200 系列是 MicroXact 首屈一指的手动探针台，用于测试最大 200 毫米的晶圆，设计灵活且易于使用。我们的系统提供了一定水平的高性能，使这些站点独树一帜。由于提供了多种选择，该系统的灵活性几乎是无限的。

全手动载物台装配，带精密交叉滚子轴承，运动范围为 225mm x 225mm。用于轻松装载和卸载晶圆或样品的预载滑块包含在基本模型中。完全手动控制压板，粗调和精调范围为 12.5 毫米（可根据要求提供更多范围）。光滑的粉末涂层钢板可容纳多达 10 个磁性或真空定位器。具有高达 200 毫米工作距离和高强度 LED 照明的高质量立体变焦显微镜在 3.5 倍至 180 倍的放大倍率范围内提供出色的视觉效果。