核心参数
产品类别: 真空探针台
操作类型: 半自动
MicroXact的半自动探针台提供多种选择,包括加热/冷却晶圆卡盘,标准或数字显微镜以及可编程平台分度,为您的所有高效设备表征提供经济高效且易于使用的解决方案。晶圆级可靠性测试需求。这些半自动探针台有三种选择(标准,高精度和高速)。
光滑的粉末涂层钢板可容纳多达10个磁性或真空定位器。
通过位于站两侧的终端隔离馈通,可以方便地连接微定位器,可以为BNC,Triax或Banana插头连接进行定制。
标准吊杆安装组件,用于显微镜的全范围XYZ定位。
可用的高分辨率微定位器,带80TPI螺钉,用于探针的μm级定位。
可用的RF选项包括可定制的RF探头,RF偏置卡盘和屏蔽罩。
高分辨率复合显微镜。
偏光显微镜。
广泛的相机选择。
射频可偏置卡盘和屏蔽罩。
抛光镀金可调节真空吸盘。
超完全真空泵。
标准半自动化系统
电动XY夹头,SPS-2600中的电动压板,SPS 2800中卡盘的电动Z轴运动,标准配置。Motorized theta是一种选择。
基于步进电机,无编码器。
极具成本竞争力
强烈推荐用于需要低于0°C的测试或屏蔽的应用
可用选项:加热或冷却卡盘,变焦镜或复合显微镜,各种屏蔽,用于直流和射频测量的卡盘选择等等
型号 | SPS-2800 | SPS-2600 | |
晶圆尺寸 | 高达200mm | 高达100mm | |
电机类型 | 步进电机 | ||
XY舞台行程 | 高达200mmx200mm | 高达125mmx125mm | |
XY舞台分辨率 | 电动,6.5μm重复性 | ||
显微镜 | 高品质立体声变焦,工作距离可达200mm,放大倍率范围为3.5X至180X | ||
馈通终端 | BNC,Triax或香蕉插头 | ||
系统尺寸 | 122厘米宽x122厘米深x 92厘米高 | 78厘米宽x80厘米深x 58厘米高 |
探针台SPS系列的工作原理介绍
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企业名称
迈可诺技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
民营
信用代码
39982968-000-11-23-9
成立日期
2008-02-21
注册资本
139万
经营范围
通讯电子产品、机械自动化产品、半导体产品、计算机信息技术产品研发、销售及技术服务
迈可诺技术有限公司
公司地址
武汉市洪山区
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